北京工业大学学报
北京工業大學學報
북경공업대학학보
JOURNAL OF BEIJING POLYTECHNIC UNIVERSITY
2014年
9期
1298-1301
,共4页
潘飞%尧舜%贾冠男%李峙%高祥宇%彭娜%王智勇
潘飛%堯舜%賈冠男%李峙%高祥宇%彭娜%王智勇
반비%요순%가관남%리치%고상우%팽나%왕지용
半导体激光阵列%准直%发散角%光线传输矩阵%CCD成像
半導體激光陣列%準直%髮散角%光線傳輸矩陣%CCD成像
반도체격광진렬%준직%발산각%광선전수구진%CCD성상
diode laser array%collimation%divergence angle%light transmission matrix%CCD imaging
为解决大功率半导体激光阵列快轴准直镜装调缺乏定量研究的问题,利用光线传输矩阵法和CCD成像法,获得其准直后光束的指向和发散角.对比半导体远场特性分析仪测量准直后的残余发散角可知,利用光线传输矩阵法和CCD成像法测量角度,测量误差可以控制在13％以内,CCD成像法可作为调整半导体激光阵列准直的有效监测手段.同时,测试6个自由度上准直镜的位置对快轴准直的影响,分析各轴上准直镜位置的允许偏差量,为全自动装调快轴准直镜的算法优化提供了实验基础.结果表明:快轴准直镜装调对各轴运动精度要求不同,尤其对y轴运动精度要求最高.
為解決大功率半導體激光陣列快軸準直鏡裝調缺乏定量研究的問題,利用光線傳輸矩陣法和CCD成像法,穫得其準直後光束的指嚮和髮散角.對比半導體遠場特性分析儀測量準直後的殘餘髮散角可知,利用光線傳輸矩陣法和CCD成像法測量角度,測量誤差可以控製在13％以內,CCD成像法可作為調整半導體激光陣列準直的有效鑑測手段.同時,測試6箇自由度上準直鏡的位置對快軸準直的影響,分析各軸上準直鏡位置的允許偏差量,為全自動裝調快軸準直鏡的算法優化提供瞭實驗基礎.結果錶明:快軸準直鏡裝調對各軸運動精度要求不同,尤其對y軸運動精度要求最高.
위해결대공솔반도체격광진렬쾌축준직경장조결핍정량연구적문제,이용광선전수구진법화CCD성상법,획득기준직후광속적지향화발산각.대비반도체원장특성분석의측량준직후적잔여발산각가지,이용광선전수구진법화CCD성상법측량각도,측량오차가이공제재13％이내,CCD성상법가작위조정반도체격광진렬준직적유효감측수단.동시,측시6개자유도상준직경적위치대쾌축준직적영향,분석각축상준직경위치적윤허편차량,위전자동장조쾌축준직경적산법우화제공료실험기출.결과표명:쾌축준직경장조대각축운동정도요구불동,우기대y축운동정도요구최고.
