真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2013年
6期
4-7
,共4页
赵冰%陈彦%童玲%张兆镗
趙冰%陳彥%童玲%張兆鏜
조빙%진언%동령%장조당
常压%微波等离子体%反应器%HFSS
常壓%微波等離子體%反應器%HFSS
상압%미파등리자체%반응기%HFSS
Atmosphere%Microwave plasma%Reactor%HFSS
本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器.微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构.首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器.将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45 GHz功率可调的稳定的微波等离子体.
本文設計瞭一箇基于BJ26矩形波導的常壓微波等離子體反應器.微波反應器對于等離子體的產生起關鍵性作用,本設計中採用瞭矩形壓縮波導結構.首先運用Ansoft HFSS倣真軟件對反應器進行瞭模擬計算,得到不同矩形壓縮波導腔體內的電場分佈,從而對腔體進行瞭優化設計,最終製作瞭常壓微波等離子體反應器.將反應器安裝在微波繫統中,穫得瞭頻率為2.45 GHz功率可調的穩定的微波等離子體.
본문설계료일개기우BJ26구형파도적상압미파등리자체반응기.미파반응기대우등리자체적산생기관건성작용,본설계중채용료구형압축파도결구.수선운용Ansoft HFSS방진연건대반응기진행료모의계산,득도불동구형압축파도강체내적전장분포,종이대강체진행료우화설계,최종제작료상압미파등리자체반응기.장반응기안장재미파계통중,획득료빈솔위2.45 GHz공솔가조적은정적미파등리자체.
