电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
5期
38-40
,共3页
孙彬%郎小虎%王宏智%王兵锋%樊兵%季峥
孫彬%郎小虎%王宏智%王兵鋒%樊兵%季崢
손빈%랑소호%왕굉지%왕병봉%번병%계쟁
刀体破损检测%光纤传感器%实时检测%晶圆
刀體破損檢測%光纖傳感器%實時檢測%晶圓
도체파손검측%광섬전감기%실시검측%정원
介绍了应用于半导体全自动晶圆划切设备中的刀体破损检测方法,在理论分析与计算的基础上制定检测方案,通过大量数据分析与处理,设计出抗干扰性强的数字滤波器,降低了系统误报率,提高了设备稳定性,保证了划切质量.
介紹瞭應用于半導體全自動晶圓劃切設備中的刀體破損檢測方法,在理論分析與計算的基礎上製定檢測方案,通過大量數據分析與處理,設計齣抗榦擾性彊的數字濾波器,降低瞭繫統誤報率,提高瞭設備穩定性,保證瞭劃切質量.
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