激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2014年
9期
1011-1013
,共3页
吴卿%巩锋%陈元瑞%侯晓敏%崔健维
吳卿%鞏鋒%陳元瑞%侯曉敏%崔健維
오경%공봉%진원서%후효민%최건유
InSb%腐蚀坑%位错%损伤层
InSb%腐蝕坑%位錯%損傷層
InSb%부식갱%위착%손상층
采用光学显微镜和光学轮廓仪分析了 InSb 晶片（111）A 面经特定腐蚀剂腐蚀后出现的两种特征腐蚀坑，并通过多次腐蚀试验观察了这两种腐蚀坑形貌的演变。从理论上对腐蚀坑形貌的成因进行了分析，结果显示1类特征腐蚀坑的成因是由于晶片固有的位错缺陷，2类特征腐蚀坑可能是由于晶片表面存在一定深度的损伤层引起的。
採用光學顯微鏡和光學輪廓儀分析瞭 InSb 晶片（111）A 麵經特定腐蝕劑腐蝕後齣現的兩種特徵腐蝕坑，併通過多次腐蝕試驗觀察瞭這兩種腐蝕坑形貌的縯變。從理論上對腐蝕坑形貌的成因進行瞭分析，結果顯示1類特徵腐蝕坑的成因是由于晶片固有的位錯缺陷，2類特徵腐蝕坑可能是由于晶片錶麵存在一定深度的損傷層引起的。
채용광학현미경화광학륜곽의분석료 InSb 정편（111）A 면경특정부식제부식후출현적량충특정부식갱，병통과다차부식시험관찰료저량충부식갱형모적연변。종이론상대부식갱형모적성인진행료분석，결과현시1류특정부식갱적성인시유우정편고유적위착결함，2류특정부식갱가능시유우정편표면존재일정심도적손상층인기적。
