CAJ | 학술논문

面向973重大科学研究计划“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”、“低维等离子体系统的量子调制及应用研究”和江苏省重大成果转化项目“第三代半导体产业发展关键材料-氮化稼（GaN）晶片开发及产业化”的微纳米结构和器件制备需要，依托苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台和测试分析平台产生的丰富的微纳米加工工艺数据资源，研究设计一个微纳加工工艺数据库，包括原始数据存储数据库、数据整合集成数据库、运行状态数据库、典型问题数据库、异常信息数据库等，实现对微纳米器件加工工艺的有效收集、整理和加工提炼，满足科研人员数据分析、计算和开发新工艺的模拟预测的需求，形成一批通用微纳加工工艺，并逐步在中科院研究所间以及研究所与企业间实现数据共享。通过微纳加工工艺数据库的建立，收集积累大量的加工工艺，为科研人员进一步开展微纳米器件研究提供必要的通用工艺及其加工工艺模拟分析，实现成果共享，减少费时费钱的通用微纳加工工艺的重复研究，加快研究进程，达到降低研究成本和提高研究效率的作用。
면향973중대과학연구계화“기우납미결구적관광보고효태양능전지관건과학문제연구”、“저유등리자체계통적양자조제급응용연구”화강소성중대성과전화항목“제삼대반도체산업발전관건재료-담화가（GaN）정편개발급산업화”적미납미결구화기건제비수요，의탁소주납미기술여납미방생연구소납미가공공공평태화측시분석평태산생적봉부적미납미가공공예수거자원，연구설계일개미납가공공예수거고，포괄원시수거존저수거고、수거정합집성수거고、운행상태수거고、전형문제수거고、이상신식수거고등，실현대미납미기건가공공예적유효수집、정리화가공제련，만족과연인원수거분석、계산화개발신공예적모의예측적수구，형성일비통용미납가공공예，병축보재중과원연구소간이급연구소여기업간실현수거공향。통과미납가공공예수거고적건립，수집적루대량적가공공예，위과연인원진일보개전미납미기건연구제공필요적통용공예급기가공공예모의분석，실현성과공향，감소비시비전적통용미납가공공예적중복연구，가쾌연구진정，체도강저연구성본화제고연구효솔적작용。