福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
1期
70-74
,共5页
SU8%微悬臂梁%AFM%弹性系数
SU8%微懸臂樑%AFM%彈性繫數
SU8%미현비량%AFM%탄성계수
SU8%microcantilever%AFM%spring constant
采用Omnicoat作为牺牲层,经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁,释放的成功率超过95％.针对SU8热膨胀系数大的缺点,对SU8微悬臂梁进行不同温度退火.采用原子力显微镜(AFM)系统对SU8微悬臂梁的弹性系数进行精确表征.结果表明,随着退火温度提高,SU8微悬臂梁弹性系数增大,对于250 μm长3.5tμm厚的悬臂梁,95℃退火后,其弹性系数为0.525 N·m-1;200℃退火后,其弹性系数增大到0.745 N·m-1.所制备的微悬臂梁被成功用于表征SU8与玻璃基底之间的相互作用.
採用Omnicoat作為犧牲層,經過兩步光刻和濕法釋放成功製備瞭全SU8結構的微懸臂樑,釋放的成功率超過95％.針對SU8熱膨脹繫數大的缺點,對SU8微懸臂樑進行不同溫度退火.採用原子力顯微鏡(AFM)繫統對SU8微懸臂樑的彈性繫數進行精確錶徵.結果錶明,隨著退火溫度提高,SU8微懸臂樑彈性繫數增大,對于250 μm長3.5tμm厚的懸臂樑,95℃退火後,其彈性繫數為0.525 N·m-1;200℃退火後,其彈性繫數增大到0.745 N·m-1.所製備的微懸臂樑被成功用于錶徵SU8與玻璃基底之間的相互作用.
채용Omnicoat작위희생층,경과량보광각화습법석방성공제비료전SU8결구적미현비량,석방적성공솔초과95％.침대SU8열팽창계수대적결점,대SU8미현비량진행불동온도퇴화.채용원자력현미경(AFM)계통대SU8미현비량적탄성계수진행정학표정.결과표명,수착퇴화온도제고,SU8미현비량탄성계수증대,대우250 μm장3.5tμm후적현비량,95℃퇴화후,기탄성계수위0.525 N·m-1;200℃퇴화후,기탄성계수증대도0.745 N·m-1.소제비적미현비량피성공용우표정SU8여파리기저지간적상호작용.
