热喷涂技术
熱噴塗技術
열분도기술
THERMAL SPRAY TECHNOLOGY
2012年
3期
9-12,27
,共5页
冀晓鹃%于月光%任先京%侯伟骜
冀曉鵑%于月光%任先京%侯偉驁
기효견%우월광%임선경%후위오
氧化钇%抗等离子冲蚀性%高纯
氧化釔%抗等離子遲蝕性%高純
양화을%항등리자충식성%고순
Yttria%Plasma erosion resistance%High purity
在半导体及液晶显示屏的刻蚀制造装备中，高纯氧化铝和高纯氧化钇作为抗等离子冲蚀材料已得到广泛应用。对不同等离子能量下涂层相关性能的研究显示，高纯氧化钇涂层较高纯氧化铝涂层及氧化铝烧结块体表现出更为优异的抗等离子冲蚀性能。尽管氧化钇涂层的性能略低于氧化钇烧结块材，但随着等离子能量的提高，两者性能的差异也逐渐减小。随着等离子能量在实际工况下不断提高，氧化钇涂层也得到了更为广泛的应用。
在半導體及液晶顯示屏的刻蝕製造裝備中，高純氧化鋁和高純氧化釔作為抗等離子遲蝕材料已得到廣汎應用。對不同等離子能量下塗層相關性能的研究顯示，高純氧化釔塗層較高純氧化鋁塗層及氧化鋁燒結塊體錶現齣更為優異的抗等離子遲蝕性能。儘管氧化釔塗層的性能略低于氧化釔燒結塊材，但隨著等離子能量的提高，兩者性能的差異也逐漸減小。隨著等離子能量在實際工況下不斷提高，氧化釔塗層也得到瞭更為廣汎的應用。
재반도체급액정현시병적각식제조장비중，고순양화려화고순양화을작위항등리자충식재료이득도엄범응용。대불동등리자능량하도층상관성능적연구현시，고순양화을도층교고순양화려도층급양화려소결괴체표현출경위우이적항등리자충식성능。진관양화을도층적성능략저우양화을소결괴재，단수착등리자능량적제고，량자성능적차이야축점감소。수착등리자능량재실제공황하불단제고，양화을도층야득도료경위엄범적응용。
Erosion properties of high purity alumina (AIEO3) and yttria(Y203) have been investigated against process plasma in semiconductor and liquid-crystal-display (LCD) production equipments for dry etching. Studies on plasma power dependency have revealed that yttria coatings have showed higher plasma erosion resistance than alumina coating as well as sintered alumina bulk. Although yttria coatings are inferior to sintered yttria bulk, the difference of the resistance becomes smaller with increasing plasma power. This result positively promotes the application of the yttria spray coating because of increasing plasma power in actual process.
