内蒙古工业大学学报（自然科学版）
內矇古工業大學學報（自然科學版）
내몽고공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF INNER MONGOLIA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
3期
15-19
,共5页
冀国俊%李敏%史志铭%冯蕾%赵鸽
冀國俊%李敏%史誌銘%馮蕾%趙鴿
기국준%리민%사지명%풍뢰%조합
二氧化锆薄膜%溶胶-凝胶%AFM
二氧化鋯薄膜%溶膠-凝膠%AFM
이양화고박막%용효-응효%AFM
本文采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基体表面制备了一、二、三层ZrO2薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,经500℃烧结热处理后ZrO2的晶体结构为单斜相和四方相的混合相.通过原子力显微镜(AFM)对ZrO2薄膜的厚度和表面形貌进行研究表明,一、二、三层ZrO2薄膜的厚度分别约为50nm、80nm和100nm；并且,随着薄膜厚度的增加,ZrO2薄膜表面由多孔结构变为紧密、均匀分布的颗粒状结构,薄膜的表面粗糙度也逐渐减小.
本文採用溶膠-凝膠工藝在玻璃基體錶麵製備瞭一、二、三層ZrO2薄膜.X射線衍射(XRD)分析錶明,經500℃燒結熱處理後ZrO2的晶體結構為單斜相和四方相的混閤相.通過原子力顯微鏡(AFM)對ZrO2薄膜的厚度和錶麵形貌進行研究錶明,一、二、三層ZrO2薄膜的厚度分彆約為50nm、80nm和100nm；併且,隨著薄膜厚度的增加,ZrO2薄膜錶麵由多孔結構變為緊密、均勻分佈的顆粒狀結構,薄膜的錶麵粗糙度也逐漸減小.
본문채용용효-응효공예재파리기체표면제비료일、이、삼층ZrO2박막.X사선연사(XRD)분석표명,경500℃소결열처리후ZrO2적정체결구위단사상화사방상적혼합상.통과원자력현미경(AFM)대ZrO2박막적후도화표면형모진행연구표명,일、이、삼층ZrO2박막적후도분별약위50nm、80nm화100nm；병차,수착박막후도적증가,ZrO2박막표면유다공결구변위긴밀、균균분포적과립상결구,박막적표면조조도야축점감소.
