电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
ELECTROPLATING & FINISHING
2014年
4期
168-172
,共5页
超临界流体%二氧化碳%沉积%金属%氧化物%纳米材料%颗粒%薄膜
超臨界流體%二氧化碳%沉積%金屬%氧化物%納米材料%顆粒%薄膜
초림계류체%이양화탄%침적%금속%양화물%납미재료%과립%박막
supercritical fluid%carbon dioxide%deposition
综述了超临界流体沉积法(SCFD)在金属及金属氧化物纳米材料制备方面的研究进展,介绍了超临界流体溶解度高、表面张力为零等独特的物理性能,以及可在平坦的、有精细图案的基底表面沉积金属、金属氧化物纳米颗粒或薄膜的技术优势.阐述了超临界流体中纳米颗粒或薄膜的沉积机理,讨论了沉积温度、先驱物浓度、压力、还原剂浓度等因素对沉积速率的影响.展望了超临界流体沉积今后的研究趋势.
綜述瞭超臨界流體沉積法(SCFD)在金屬及金屬氧化物納米材料製備方麵的研究進展,介紹瞭超臨界流體溶解度高、錶麵張力為零等獨特的物理性能,以及可在平坦的、有精細圖案的基底錶麵沉積金屬、金屬氧化物納米顆粒或薄膜的技術優勢.闡述瞭超臨界流體中納米顆粒或薄膜的沉積機理,討論瞭沉積溫度、先驅物濃度、壓力、還原劑濃度等因素對沉積速率的影響.展望瞭超臨界流體沉積今後的研究趨勢.
종술료초림계류체침적법(SCFD)재금속급금속양화물납미재료제비방면적연구진전,개소료초림계류체용해도고、표면장력위령등독특적물이성능,이급가재평탄적、유정세도안적기저표면침적금속、금속양화물납미과립혹박막적기술우세.천술료초림계류체중납미과립혹박막적침적궤리,토론료침적온도、선구물농도、압력、환원제농도등인소대침적속솔적영향.전망료초림계류체침적금후적연구추세.
