电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
5期
23-26,64
,共5页
冯玢%潘章杰%王磊%郝建民
馮玢%潘章傑%王磊%郝建民
풍분%반장걸%왕뢰%학건민
碳化硅衬底%精密加工%多线切割%研磨%抛光%粗糙度
碳化硅襯底%精密加工%多線切割%研磨%拋光%粗糙度
탄화규츤저%정밀가공%다선절할%연마%포광%조조도
介绍了一种包含多线切割、研磨、抛光等主要工序的75 mm(3英寸)碳化硅衬底精密加工技术,该技术成功对本单位自主研制的碳化硅衬底进行精密加工.实验过程中使用了几何参数测试仪、强光灯、微分干涉显微镜(DIC)、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)等检测手段对加工工艺效果进行监控.通过该技术制备出了几何尺寸参数良好、表面质量优良的碳化硅晶片.
介紹瞭一種包含多線切割、研磨、拋光等主要工序的75 mm(3英吋)碳化硅襯底精密加工技術,該技術成功對本單位自主研製的碳化硅襯底進行精密加工.實驗過程中使用瞭幾何參數測試儀、彊光燈、微分榦涉顯微鏡(DIC)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描電鏡(SEM)等檢測手段對加工工藝效果進行鑑控.通過該技術製備齣瞭幾何呎吋參數良好、錶麵質量優良的碳化硅晶片.
개소료일충포함다선절할、연마、포광등주요공서적75 mm(3영촌)탄화규츤저정밀가공기술,해기술성공대본단위자주연제적탄화규츤저진행정밀가공.실험과정중사용료궤하삼수측시의、강광등、미분간섭현미경(DIC)、원자력현미경(AFM)、소묘전경(SEM)등검측수단대가공공예효과진행감공.통과해기술제비출료궤하척촌삼수량호、표면질량우량적탄화규정편.
