传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
3期
107-109
,共3页
杨继森%何建%彭东林%冯济琴%郑方燕
楊繼森%何建%彭東林%馮濟琴%鄭方燕
양계삼%하건%팽동림%풍제금%정방연
时栅传感器%转台%自动标定%误差补偿
時柵傳感器%轉檯%自動標定%誤差補償
시책전감기%전태%자동표정%오차보상
time grating sensor%turntable%automation calibration%error compensation
针对目前时栅转台采用手动方式进行标定,工作效率低、精度难以保证的现状,设计了一种能够进行数据采集、处理和误差补偿的时栅转台自动标定系统.该系统以激光干涉仪作为测量基准,采用了闭环控制技术,进行测量误差补偿.实验结果表明:该系统标定精度高,经过该系统标定后的时栅转台精度达到±2",且标定速度是手动方式的2倍以上,显著提高了时栅转台标定效率.
針對目前時柵轉檯採用手動方式進行標定,工作效率低、精度難以保證的現狀,設計瞭一種能夠進行數據採集、處理和誤差補償的時柵轉檯自動標定繫統.該繫統以激光榦涉儀作為測量基準,採用瞭閉環控製技術,進行測量誤差補償.實驗結果錶明:該繫統標定精度高,經過該繫統標定後的時柵轉檯精度達到±2",且標定速度是手動方式的2倍以上,顯著提高瞭時柵轉檯標定效率.
침대목전시책전태채용수동방식진행표정,공작효솔저、정도난이보증적현상,설계료일충능구진행수거채집、처리화오차보상적시책전태자동표정계통.해계통이격광간섭의작위측량기준,채용료폐배공제기술,진행측량오차보상.실험결과표명:해계통표정정도고,경과해계통표정후적시책전태정도체도±2",차표정속도시수동방식적2배이상,현저제고료시책전태표정효솔.
