天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
8期
747-752
,共6页
崔建军%高思田%邵宏伟%杜华%王鹤岩
崔建軍%高思田%邵宏偉%杜華%王鶴巖
최건군%고사전%소굉위%두화%왕학암
计量学%角度测量%X射线衍射%干涉测量%X射线衍射仪校准%计量校准标准
計量學%角度測量%X射線衍射%榦涉測量%X射線衍射儀校準%計量校準標準
계량학%각도측량%X사선연사%간섭측량%X사선연사의교준%계량교준표준
metrology%angle measurement%X-ray diffraction%interforometer%X-ray diffractometer calibration%metrology and calibration standards
目前X射线衍射仪(XRD)的角度检定和校准测试主要依据JJG 629-1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400-2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2".使用该方法测试能够精确得到θ和2θ轴的误差数据,可用于修正XRD测角误差,提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.
目前X射線衍射儀(XRD)的角度檢定和校準測試主要依據JJG 629-1989《多晶X射線衍射儀檢定規程》和JB/T 9400-2010《X射線衍射儀技術條件》等技術文件,具體方法是採用光學經緯儀或多麵稜體等進行測試,該測量方法實際應用中存在一定難度,其次測量間隔較大,不能很好反映真實的角度誤差規律.為此,提齣瞭利用θ角和2θ角同軸併可獨立運動的特點,組閤採用光電自準直儀和小角度激光榦涉儀等儀器,設計瞭一種新的XRD的角度校準方法,它能夠自動快速地連續測量角度,取k=2時,擴展不確定度約1.2".使用該方法測試能夠精確得到θ和2θ軸的誤差數據,可用于脩正XRD測角誤差,提高XRD測試精度.該方法也適用于同步輻射等大型衍射繫統等其他需要角度校準的情況.
목전X사선연사의(XRD)적각도검정화교준측시주요의거JJG 629-1989《다정X사선연사의검정규정》화JB/T 9400-2010《X사선연사의기술조건》등기술문건,구체방법시채용광학경위의혹다면릉체등진행측시,해측량방법실제응용중존재일정난도,기차측량간격교대,불능흔호반영진실적각도오차규률.위차,제출료이용θ각화2θ각동축병가독립운동적특점,조합채용광전자준직의화소각도격광간섭의등의기,설계료일충신적XRD적각도교준방법,타능구자동쾌속지련속측량각도,취k=2시,확전불학정도약1.2".사용해방법측시능구정학득도θ화2θ축적오차수거,가용우수정XRD측각오차,제고XRD측시정도.해방법야괄용우동보복사등대형연사계통등기타수요각도교준적정황.
