人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
4期
1143-1147
,共5页
真空退火%掺铬类石墨镀层%微观组织结构
真空退火%摻鉻類石墨鍍層%微觀組織結構
진공퇴화%참락류석묵도층%미관조직결구
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备于单晶硅基体上制备了掺铬类石墨镀层,并利用X射线衍射仪(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对真空退火处理前、后掺铬类石墨镀层的物相和微观组织结构演变规律进行了详细分析.研究结果表明:当真空退火温度达到500℃以上时,在掺铬类石墨镀层的C/Cr工作层中会相继出现Cr3C2、Cr23C6甚至微晶石墨等晶体；在掺铬类石墨镀层的真空退火过程中,Cr3C2碳化物相较Cr23C6碳化物相更容易于Cr原子弥散掺杂的非晶石墨层中析出,且Cr3C2碳化物相倾向于在C/Cr工作层中Cr原子浓度大的区域析出；Cr3C2和Cr23C6等碳化物相的析出对Cr原子浓度的依赖性逐渐减弱.
採用閉閤場非平衡磁控濺射離子鍍設備于單晶硅基體上製備瞭摻鉻類石墨鍍層,併利用X射線衍射儀(XRD)和透射電子顯微鏡(TEM)對真空退火處理前、後摻鉻類石墨鍍層的物相和微觀組織結構縯變規律進行瞭詳細分析.研究結果錶明:噹真空退火溫度達到500℃以上時,在摻鉻類石墨鍍層的C/Cr工作層中會相繼齣現Cr3C2、Cr23C6甚至微晶石墨等晶體；在摻鉻類石墨鍍層的真空退火過程中,Cr3C2碳化物相較Cr23C6碳化物相更容易于Cr原子瀰散摻雜的非晶石墨層中析齣,且Cr3C2碳化物相傾嚮于在C/Cr工作層中Cr原子濃度大的區域析齣；Cr3C2和Cr23C6等碳化物相的析齣對Cr原子濃度的依賴性逐漸減弱.
채용폐합장비평형자공천사리자도설비우단정규기체상제비료참락류석묵도층,병이용X사선연사의(XRD)화투사전자현미경(TEM)대진공퇴화처리전、후참락류석묵도층적물상화미관조직결구연변규률진행료상세분석.연구결과표명:당진공퇴화온도체도500℃이상시,재참락류석묵도층적C/Cr공작층중회상계출현Cr3C2、Cr23C6심지미정석묵등정체；재참락류석묵도층적진공퇴화과정중,Cr3C2탄화물상교Cr23C6탄화물상경용역우Cr원자미산참잡적비정석묵층중석출,차Cr3C2탄화물상경향우재C/Cr공작층중Cr원자농도대적구역석출；Cr3C2화Cr23C6등탄화물상적석출대Cr원자농도적의뢰성축점감약.
