人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
4期
1130-1137
,共8页
杜家熙%苏建修%王占合%马利杰%康仁科
杜傢熙%囌建脩%王佔閤%馬利傑%康仁科
두가희%소건수%왕점합%마리걸%강인과
硬脆晶体基片%化学机械抛光%非均匀性
硬脆晶體基片%化學機械拋光%非均勻性
경취정체기편%화학궤계포광%비균균성
本文主要对基片内材料去除非均匀性的形成机理进行了深入的研究；首先分析了化学机械抛光(CMP)时抛光机运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律,然后进行了基片内材料去除非均匀性实验,通过实验得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响；通过比较理论分析与实验结果,基片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性及接触压力分布非均匀性随转速的变化趋势与基片表面材料去除非均匀性的实验结果的曲线性质不匹配,而只有抛光液中的磨粒在基片表面的运动轨迹分布密度非均匀性与基片表面材料去除非均匀性的实验结果曲线趋势相同；研究结果表明,基片表面材料去除非均匀性是由磨粒在基片表面上的运动轨迹分布密度非均匀性造成的,充分说明了基片表面材料去除的机械作用主要是磨粒的机械作用.
本文主要對基片內材料去除非均勻性的形成機理進行瞭深入的研究；首先分析瞭化學機械拋光(CMP)時拋光機運動參數對硅片錶麵上相對速度分佈非均勻性、摩抆力分佈非均勻性、接觸壓力分佈非均勻性及磨粒運動軌跡密度分佈非均勻性的影響規律,然後進行瞭基片內材料去除非均勻性實驗,通過實驗得齣瞭拋光機運動參數對基片錶麵材料去除非均勻性的影響；通過比較理論分析與實驗結果,基片錶麵上相對速度分佈非均勻性、摩抆力分佈非均勻性及接觸壓力分佈非均勻性隨轉速的變化趨勢與基片錶麵材料去除非均勻性的實驗結果的麯線性質不匹配,而隻有拋光液中的磨粒在基片錶麵的運動軌跡分佈密度非均勻性與基片錶麵材料去除非均勻性的實驗結果麯線趨勢相同；研究結果錶明,基片錶麵材料去除非均勻性是由磨粒在基片錶麵上的運動軌跡分佈密度非均勻性造成的,充分說明瞭基片錶麵材料去除的機械作用主要是磨粒的機械作用.
본문주요대기편내재료거제비균균성적형성궤리진행료심입적연구；수선분석료화학궤계포광(CMP)시포광궤운동삼수대규편표면상상대속도분포비균균성、마찰력분포비균균성、접촉압력분포비균균성급마립운동궤적밀도분포비균균성적영향규률,연후진행료기편내재료거제비균균성실험,통과실험득출료포광궤운동삼수대기편표면재료거제비균균성적영향；통과비교이론분석여실험결과,기편표면상상대속도분포비균균성、마찰력분포비균균성급접촉압력분포비균균성수전속적변화추세여기편표면재료거제비균균성적실험결과적곡선성질불필배,이지유포광액중적마립재기편표면적운동궤적분포밀도비균균성여기편표면재료거제비균균성적실험결과곡선추세상동；연구결과표명,기편표면재료거제비균균성시유마립재기편표면상적운동궤적분포밀도비균균성조성적,충분설명료기편표면재료거제적궤계작용주요시마립적궤계작용.
