CAJ | 학술논문

针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC.通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声辅助切割单晶SiC,锯切力减小37％～52％,且减小趋势随工件进给速度的增大更明显；切片表面粗糙度降幅约为26％～55％,晶片表面形貌均匀,无划痕,明显优于普通切割方法所获得的表面；线锯磨损降低约近40％；切割效率提高近56％.
침대단정SiC절할과정절할효솔저,가공표면조조도화표면불평도차이급선거마손화단렬엄중등문제,제출채용선거횡향시가초성진동적방법절할단정SiC.통과실험대비연구료보통절할여초성보조절할량충절할공예,결과표명:여보통절할상비,초성보조절할단정SiC,거절력감소37％～52％,차감소추세수공건진급속도적증대경명현；절편표면조조도강폭약위26％～55％,정편표면형모균균,무화흔,명현우우보통절할방법소획득적표면；선거마손강저약근40％；절할효솔제고근56％.