人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
4期
1059-1065
,共7页
于海群%左然%徐楠%何晓崐
于海群%左然%徐楠%何曉崐
우해군%좌연%서남%하효곤
MOCVD%GaN%热泳力%数值模拟
MOCVD%GaN%熱泳力%數值模擬
MOCVD%GaN%열영력%수치모의
从分子动力学理论出发,推导出垂直式MOCVD反应器中热泳力和热泳速度与温度、温度梯度、压强、粒子直径的关系式,以及热泳速度与扩散速度、动量速度平衡时的关系式.在典型的生长条件下,计算得到在温度T=605K时,热泳速度与扩散速度、动量速度动量平衡,TMGa浓度达到最大.然后在不考虑化学反应和考虑化学反应两种情况下,针对垂直式MOCVD反应器内的热泳力对粒子浓度分布和沉积的影响进行数值模拟,模拟给出反应粒子在反应器不同进口温度、衬底温度时的温度分布、浓度分布和反应速率.并与文献中的实验值进行对比,模拟结果与实验值有很好的吻合.
從分子動力學理論齣髮,推導齣垂直式MOCVD反應器中熱泳力和熱泳速度與溫度、溫度梯度、壓彊、粒子直徑的關繫式,以及熱泳速度與擴散速度、動量速度平衡時的關繫式.在典型的生長條件下,計算得到在溫度T=605K時,熱泳速度與擴散速度、動量速度動量平衡,TMGa濃度達到最大.然後在不攷慮化學反應和攷慮化學反應兩種情況下,針對垂直式MOCVD反應器內的熱泳力對粒子濃度分佈和沉積的影響進行數值模擬,模擬給齣反應粒子在反應器不同進口溫度、襯底溫度時的溫度分佈、濃度分佈和反應速率.併與文獻中的實驗值進行對比,模擬結果與實驗值有很好的吻閤.
종분자동역학이론출발,추도출수직식MOCVD반응기중열영력화열영속도여온도、온도제도、압강、입자직경적관계식,이급열영속도여확산속도、동량속도평형시적관계식.재전형적생장조건하,계산득도재온도T=605K시,열영속도여확산속도、동량속도동량평형,TMGa농도체도최대.연후재불고필화학반응화고필화학반응량충정황하,침대수직식MOCVD반응기내적열영력대입자농도분포화침적적영향진행수치모의,모의급출반응입자재반응기불동진구온도、츤저온도시적온도분포、농도분포화반응속솔.병여문헌중적실험치진행대비,모의결과여실험치유흔호적문합.
