人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
4期
1006-1010
,共5页
张效华%辛凤%胡跃辉%杨丰%陈义川
張效華%辛鳳%鬍躍輝%楊豐%陳義川
장효화%신봉%호약휘%양봉%진의천
BZN陶瓷%BZN薄膜%介电性能
BZN陶瓷%BZN薄膜%介電性能
BZN도자%BZN박막%개전성능
以立方焦绿石Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)为配方基础,通过掺入过量10％的Bi2O3,形成Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225非化学计量比分子式.采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷,并采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片上制备其薄膜.对比研究了非化学计量比Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷和薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的差异.结果表明烧结的Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷和沉积的BZN薄膜都保持立方焦绿石单相结构,但是薄膜展现出较强的(222)晶面择优取向.陶瓷和薄膜的晶格常数,微观形貌都体现出差异.对比二者的介电特性后发现,Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225薄膜的介电常数明显高于陶瓷的介电常数,这归因于薄膜和块体材料之间的差异,例如厚度,致密度,择优取向等.
以立方焦綠石Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)為配方基礎,通過摻入過量10％的Bi2O3,形成Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225非化學計量比分子式.採用固相反應法閤成具有焦綠石立方結構的Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷,併採用脈遲激光沉積法在Pt/SiO2/Si(100)基片上製備其薄膜.對比研究瞭非化學計量比Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷和薄膜的結晶性能,微觀形貌以及介電性能的差異.結果錶明燒結的Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷和沉積的BZN薄膜都保持立方焦綠石單相結構,但是薄膜展現齣較彊的(222)晶麵擇優取嚮.陶瓷和薄膜的晶格常數,微觀形貌都體現齣差異.對比二者的介電特性後髮現,Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225薄膜的介電常數明顯高于陶瓷的介電常數,這歸因于薄膜和塊體材料之間的差異,例如厚度,緻密度,擇優取嚮等.
이립방초록석Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)위배방기출,통과참입과량10％적Bi2O3,형성Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225비화학계량비분자식.채용고상반응법합성구유초록석립방결구적Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225도자,병채용맥충격광침적법재Pt/SiO2/Si(100)기편상제비기박막.대비연구료비화학계량비Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7.225도자화박막적결정성능,미관형모이급개전성능적차이.결과표명소결적Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225도자화침적적BZN박막도보지립방초록석단상결구,단시박막전현출교강적(222)정면택우취향.도자화박막적정격상수,미관형모도체현출차이.대비이자적개전특성후발현,Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225박막적개전상수명현고우도자적개전상수,저귀인우박막화괴체재료지간적차이,례여후도,치밀도,택우취향등.
