人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
4期
896-899
,共4页
于盛旺%刘艳青%唐伟忠%申艳艳%贺志勇%唐宾
于盛旺%劉豔青%唐偉忠%申豔豔%賀誌勇%唐賓
우성왕%류염청%당위충%신염염%하지용%당빈
金刚石膜%MPCVD%微波复介电常数%透波窗口材料
金剛石膜%MPCVD%微波複介電常數%透波窗口材料
금강석막%MPCVD%미파복개전상수%투파창구재료
使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在沉积功率8 kW条件下,对大面积金刚石膜透波窗口材料进行了制备研究.分别使用扫描电镜、Raman、分光光谱仪、热导率测试仪和空腔谐振法对金刚石膜的表面形貌、品质、光透过率、热导率和微波复介电常数等进行了表征及测试.实验结果表明,使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,能够满足较高功率下高品质金刚石膜的快速沉积；抛光后的自支撑金刚石膜具有高的光学透过率和热导率,在23 ～ 36 GHz频率范围内微波介电损耗小于1×10-4,有着良好的微波介电性能,是较为理想的透波窗口材料.
使用自行研製的橢毬諧振腔式MPCVD裝置,以H2-CH4為氣源,在沉積功率8 kW條件下,對大麵積金剛石膜透波窗口材料進行瞭製備研究.分彆使用掃描電鏡、Raman、分光光譜儀、熱導率測試儀和空腔諧振法對金剛石膜的錶麵形貌、品質、光透過率、熱導率和微波複介電常數等進行瞭錶徵及測試.實驗結果錶明,使用自行研製的橢毬諧振腔式MPCVD裝置,能夠滿足較高功率下高品質金剛石膜的快速沉積；拋光後的自支撐金剛石膜具有高的光學透過率和熱導率,在23 ～ 36 GHz頻率範圍內微波介電損耗小于1×10-4,有著良好的微波介電性能,是較為理想的透波窗口材料.
사용자행연제적타구해진강식MPCVD장치,이H2-CH4위기원,재침적공솔8 kW조건하,대대면적금강석막투파창구재료진행료제비연구.분별사용소묘전경、Raman、분광광보의、열도솔측시의화공강해진법대금강석막적표면형모、품질、광투과솔、열도솔화미파복개전상수등진행료표정급측시.실험결과표명,사용자행연제적타구해진강식MPCVD장치,능구만족교고공솔하고품질금강석막적쾌속침적；포광후적자지탱금강석막구유고적광학투과솔화열도솔,재23 ～ 36 GHz빈솔범위내미파개전손모소우1×10-4,유착량호적미파개전성능,시교위이상적투파창구재료.
