人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
4期
888-895
,共8页
曾庆凯%关小军%潘忠奔%张怀金%王丽君%禹宝军%刘千千
曾慶凱%關小軍%潘忠奔%張懷金%王麗君%禹寶軍%劉韆韆
증경개%관소군%반충분%장부금%왕려군%우보군%류천천
单晶硅%直拉法%相场模型%数值模拟%空洞
單晶硅%直拉法%相場模型%數值模擬%空洞
단정규%직랍법%상장모형%수치모의%공동
为研究大直径直拉硅生长时空洞的演化规律,建立了与有限元模型所模拟的晶体生长温度场相结合的空洞演化相场模型,并应用该模型模拟研究了空洞形貌及其分布状态的变化过程以及不同初始点缺陷浓度对空洞演化的影响规律.结果表明:直拉硅单晶生长过程中,空洞的演化经历了孕育-形核-长大-稳定四个阶段,其形貌和分布状态亦由孤立的球形向偏聚的串珠形转变；与较低的点缺陷浓度相比,初始点缺陷浓度较高时,空洞的数目、平均尺寸、面积分数普遍较大,孕育阶段缩短、形核和长大阶段延长；空洞的偏聚及合并、长大的现象显著；当温度低于980 K时,大直径的空洞数目不再增加.
為研究大直徑直拉硅生長時空洞的縯化規律,建立瞭與有限元模型所模擬的晶體生長溫度場相結閤的空洞縯化相場模型,併應用該模型模擬研究瞭空洞形貌及其分佈狀態的變化過程以及不同初始點缺陷濃度對空洞縯化的影響規律.結果錶明:直拉硅單晶生長過程中,空洞的縯化經歷瞭孕育-形覈-長大-穩定四箇階段,其形貌和分佈狀態亦由孤立的毬形嚮偏聚的串珠形轉變；與較低的點缺陷濃度相比,初始點缺陷濃度較高時,空洞的數目、平均呎吋、麵積分數普遍較大,孕育階段縮短、形覈和長大階段延長；空洞的偏聚及閤併、長大的現象顯著；噹溫度低于980 K時,大直徑的空洞數目不再增加.
위연구대직경직랍규생장시공동적연화규률,건립료여유한원모형소모의적정체생장온도장상결합적공동연화상장모형,병응용해모형모의연구료공동형모급기분포상태적변화과정이급불동초시점결함농도대공동연화적영향규률.결과표명:직랍규단정생장과정중,공동적연화경력료잉육-형핵-장대-은정사개계단,기형모화분포상태역유고립적구형향편취적천주형전변；여교저적점결함농도상비,초시점결함농도교고시,공동적수목、평균척촌、면적분수보편교대,잉육계단축단、형핵화장대계단연장；공동적편취급합병、장대적현상현저；당온도저우980 K시,대직경적공동수목불재증가.
