应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
5期
846-854
,共9页
纳米计量%干涉仪%光频梳
納米計量%榦涉儀%光頻梳
납미계량%간섭의%광빈소
随着纳米科学的迅速发展,对纳米计量技术也提出了更高要求.目前,纳米计量技术已经实现在几十微米量程范围内具有亚纳米甚至皮米量级的测量分辨率.回顾了现在主要的纳米计量技术,包括激光干涉仪、差拍F-P干涉仪、X射线干涉仪、光学+X射线干涉仪、基于频率测量技术和光频梳技术等,介绍了其工作原理、技术特点、应用范围及其最新研究进展.
隨著納米科學的迅速髮展,對納米計量技術也提齣瞭更高要求.目前,納米計量技術已經實現在幾十微米量程範圍內具有亞納米甚至皮米量級的測量分辨率.迴顧瞭現在主要的納米計量技術,包括激光榦涉儀、差拍F-P榦涉儀、X射線榦涉儀、光學+X射線榦涉儀、基于頻率測量技術和光頻梳技術等,介紹瞭其工作原理、技術特點、應用範圍及其最新研究進展.
수착납미과학적신속발전,대납미계량기술야제출료경고요구.목전,납미계량기술이경실현재궤십미미량정범위내구유아납미심지피미량급적측량분변솔.회고료현재주요적납미계량기술,포괄격광간섭의、차박F-P간섭의、X사선간섭의、광학+X사선간섭의、기우빈솔측량기술화광빈소기술등,개소료기공작원리、기술특점、응용범위급기최신연구진전.
