中国石油大学学报（自然科学版）
中國石油大學學報（自然科學版）
중국석유대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHINA UNIVERSITY OF PETROLEUM(EDITION OF NATURAL SCIENCE)
2012年
5期
179-183
,共5页
周小岩%韩治德%李传勇%刘晓龙
週小巖%韓治德%李傳勇%劉曉龍
주소암%한치덕%리전용%류효룡
ZnO薄膜%p-Si衬底%电阻率%气体传感器
ZnO薄膜%p-Si襯底%電阻率%氣體傳感器
ZnO박막%p-Si츤저%전조솔%기체전감기
采用射频磁控溅射的方法在不同电阻率的p型硅衬底上沉积氧化锌薄膜,制备了ZnO/p-Si异质结.通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析ZnO薄膜的物相结构和表面形貌.研究室温下不同电阻率的硅衬底对ZnO/p-Si异质结电流-电压特性和酒精敏感特性的影响.结果表明:ZnO薄膜结晶情况良好,具有高度的c轴择优取向,表面颗粒分布均匀；ZnO/p-Si异质结酒精敏感性依赖于p-Si衬底,当p-Si衬底的电阻率为10～20Ω· cm时,其气敏性能最强；该异质结在+4.0 V的偏置电压下,对0.024 g/L酒精气体的灵敏度为39.7％.
採用射頻磁控濺射的方法在不同電阻率的p型硅襯底上沉積氧化鋅薄膜,製備瞭ZnO/p-Si異質結.通過X射線衍射(XRD)和掃描電鏡(SEM)分析ZnO薄膜的物相結構和錶麵形貌.研究室溫下不同電阻率的硅襯底對ZnO/p-Si異質結電流-電壓特性和酒精敏感特性的影響.結果錶明:ZnO薄膜結晶情況良好,具有高度的c軸擇優取嚮,錶麵顆粒分佈均勻；ZnO/p-Si異質結酒精敏感性依賴于p-Si襯底,噹p-Si襯底的電阻率為10～20Ω· cm時,其氣敏性能最彊；該異質結在+4.0 V的偏置電壓下,對0.024 g/L酒精氣體的靈敏度為39.7％.
채용사빈자공천사적방법재불동전조솔적p형규츤저상침적양화자박막,제비료ZnO/p-Si이질결.통과X사선연사(XRD)화소묘전경(SEM)분석ZnO박막적물상결구화표면형모.연구실온하불동전조솔적규츤저대ZnO/p-Si이질결전류-전압특성화주정민감특성적영향.결과표명:ZnO박막결정정황량호,구유고도적c축택우취향,표면과립분포균균；ZnO/p-Si이질결주정민감성의뢰우p-Si츤저,당p-Si츤저적전조솔위10～20Ω· cm시,기기민성능최강；해이질결재+4.0 V적편치전압하,대0.024 g/L주정기체적령민도위39.7％.
