仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
9期
13-14,42
,共3页
鄢志丹%孙立东%胡春光%胡小唐%P.Zeppenfeld
鄢誌丹%孫立東%鬍春光%鬍小唐%P.Zeppenfeld
언지단%손립동%호춘광%호소당%P.Zeppenfeld
温控系统%LabVIEW%串行通信
溫控繫統%LabVIEW%串行通信
온공계통%LabVIEW%천행통신
衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素.针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求,文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统,详细论述了LabVIEW环境下的温控系统应用软件设计思路,该应用软件通过VISA接口与精密温度控制仪进行数据通信,依据其内置的PID控制算法,实现温度控制.测试试验表明:该系统具体良好的恒温效果,能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求,具有很高的实用价值.
襯底沉積溫度是影響薄膜生長形態的關鍵因素.針對超高真空薄膜生長中對襯底沉積溫度恆溫控製需求,文中討論瞭基于電阻加熱和液氦製冷相結閤的溫控繫統,詳細論述瞭LabVIEW環境下的溫控繫統應用軟件設計思路,該應用軟件通過VISA接口與精密溫度控製儀進行數據通信,依據其內置的PID控製算法,實現溫度控製.測試試驗錶明:該繫統具體良好的恆溫效果,能夠滿足超過超高真空薄膜生長時對襯底沉積溫度的溫控要求,具有很高的實用價值.
츤저침적온도시영향박막생장형태적관건인소.침대초고진공박막생장중대츤저침적온도항온공제수구,문중토론료기우전조가열화액양제랭상결합적온공계통,상세논술료LabVIEW배경하적온공계통응용연건설계사로,해응용연건통과VISA접구여정밀온도공제의진행수거통신,의거기내치적PID공제산법,실현온도공제.측시시험표명:해계통구체량호적항온효과,능구만족초과초고진공박막생장시대츤저침적온도적온공요구,구유흔고적실용개치.
