稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2012年
9期
1684-1688
,共5页
罗炳池%罗江山%李恺%张吉强%吴卫东%唐永建
囉炳池%囉江山%李愷%張吉彊%吳衛東%唐永建
라병지%라강산%리개%장길강%오위동%당영건
铍薄膜%蒸镀%柱状晶%岛状生长
鈹薄膜%蒸鍍%柱狀晶%島狀生長
피박막%증도%주상정%도상생장
采用真空蒸镀法制备厚度400～2100 nm、表面均方根粗糙度Rq＜6.0 nm的Be薄膜.XRD结果表明不同厚度Be薄膜均由hcp结构的(aBe)相组成.当蒸发温度从1243 K增加至1403 K时,Be原子沉积速率急剧增大,α-Be晶粒平均直径增大近3倍,其择优取向发生显著改变.薄膜表面小岛由不规则的多边形晶粒逐渐转化为棱角分明的六边形晶粒,而横截面形貌始终以柱状晶生长为主,它垂直于基片呈定向排列.此外,理论计算的Be薄膜生长速率与实验测定的结果十分吻合,它与平衡蒸气压成正比,随蒸发温度的升高而呈指数函数关系增大.
採用真空蒸鍍法製備厚度400～2100 nm、錶麵均方根粗糙度Rq＜6.0 nm的Be薄膜.XRD結果錶明不同厚度Be薄膜均由hcp結構的(aBe)相組成.噹蒸髮溫度從1243 K增加至1403 K時,Be原子沉積速率急劇增大,α-Be晶粒平均直徑增大近3倍,其擇優取嚮髮生顯著改變.薄膜錶麵小島由不規則的多邊形晶粒逐漸轉化為稜角分明的六邊形晶粒,而橫截麵形貌始終以柱狀晶生長為主,它垂直于基片呈定嚮排列.此外,理論計算的Be薄膜生長速率與實驗測定的結果十分吻閤,它與平衡蒸氣壓成正比,隨蒸髮溫度的升高而呈指數函數關繫增大.
채용진공증도법제비후도400～2100 nm、표면균방근조조도Rq＜6.0 nm적Be박막.XRD결과표명불동후도Be박막균유hcp결구적(aBe)상조성.당증발온도종1243 K증가지1403 K시,Be원자침적속솔급극증대,α-Be정립평균직경증대근3배,기택우취향발생현저개변.박막표면소도유불규칙적다변형정립축점전화위릉각분명적륙변형정립,이횡절면형모시종이주상정생장위주,타수직우기편정정향배렬.차외,이론계산적Be박막생장속솔여실험측정적결과십분문합,타여평형증기압성정비,수증발온도적승고이정지수함수관계증대.
