CAJ | 학술논문

为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机.采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,提高了测量准确度.并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析.实验结果表明,该激光测长机的测量准确度达到了±(0.5 μm +1.5×10-6 L),测量重复性为0.2 μm.满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求.
위진일보제고격광측장궤적측량정도급가고성,만족고정도장도척촌적계량검정요구,연제료일충가조정광정적격광측장궤.채용격광간섭의작위측량기준,결구설계부합아패원칙,동시,가근거피측장도적대소조정격광간섭의화측량조건적안장위치,제고료측량준학도.병대영향격광측장궤측량준학도적오차진행료불학정도분석.실험결과표명,해격광측장궤적측량준학도체도료±(0.5 μm +1.5×10-6 L),측량중복성위0.2 μm.만족고측량정도급고가고성등기술지표요구.