红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
8期
2152-2155
,共4页
反射式补偿检验%精度分析%离轴椭球面%三级像差理论
反射式補償檢驗%精度分析%離軸橢毬麵%三級像差理論
반사식보상검험%정도분석%리축타구면%삼급상차이론
使用要求离轴椭球镜的面形PV(峰谷)值优于0.4λ(λ=351 nm).根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理,得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式.由已知数据求解补偿光路的初始结构参数,并带入软件中得到优化后的设计结果,优化后的结果和初始结构参数没有变化,说明补偿光路的求解方法是正确的.考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差,将误差带入检测光路进行模拟分析后,得出被检元件的面形精度:取98％的合格概率时,椭球镜的面形PV为0.379λ(λ=351 nm),能够满足使用要求,说明离轴椭球面的反射式补偿检验法是可行的.
使用要求離軸橢毬鏡的麵形PV(峰穀)值優于0.4λ(λ=351 nm).根據三級像差理論毬差錶達式和補償檢驗原理,得齣檢測光路中毬麵補償鏡的半徑錶達式.由已知數據求解補償光路的初始結構參數,併帶入軟件中得到優化後的設計結果,優化後的結果和初始結構參數沒有變化,說明補償光路的求解方法是正確的.攷慮到元件的加工誤差和檢測光路的調試誤差,將誤差帶入檢測光路進行模擬分析後,得齣被檢元件的麵形精度:取98％的閤格概率時,橢毬鏡的麵形PV為0.379λ(λ=351 nm),能夠滿足使用要求,說明離軸橢毬麵的反射式補償檢驗法是可行的.
사용요구리축타구경적면형PV(봉곡)치우우0.4λ(λ=351 nm).근거삼급상차이론구차표체식화보상검험원리,득출검측광로중구면보상경적반경표체식.유이지수거구해보상광로적초시결구삼수,병대입연건중득도우화후적설계결과,우화후적결과화초시결구삼수몰유변화,설명보상광로적구해방법시정학적.고필도원건적가공오차화검측광로적조시오차,장오차대입검측광로진행모의분석후,득출피검원건적면형정도:취98％적합격개솔시,타구경적면형PV위0.379λ(λ=351 nm),능구만족사용요구,설명리축타구면적반사식보상검험법시가행적.
