红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
8期
2058-2062
,共5页
刘晓旻%王俊俏%马凤英%吴宇%梁二军%杨国光
劉曉旻%王俊俏%馬鳳英%吳宇%樑二軍%楊國光
류효민%왕준초%마봉영%오우%량이군%양국광
太赫兹探测器%成像探测%双材料%光杠杆%微悬臂梁
太赫玆探測器%成像探測%雙材料%光槓桿%微懸臂樑
태혁자탐측기%성상탐측%쌍재료%광강간%미현비량
提出了一种新型的微光学太赫兹辐射探测方法,以双材料微悬臂梁结构热探测方法为基础,通过多重反射光杠杆系统测量微结构的纵向微位移,从而实现太赫兹辐射量的测量.多重反射光杠杆探测方法微位移理论分辨率小于lnm.搭建了微位移测量系统,实验结果表明,测试系统理论分辨率小于4 nm,实际分辨率优于10 nm.给出了基于该方法的太赫兹探测器设计方案和参数.因其具有良好的抗空气扰动和光束串扰能力,可以在常温下工作,适用于非制冷、实时、低成本、微小型化的太赫兹探测器和阵列式成像设备.
提齣瞭一種新型的微光學太赫玆輻射探測方法,以雙材料微懸臂樑結構熱探測方法為基礎,通過多重反射光槓桿繫統測量微結構的縱嚮微位移,從而實現太赫玆輻射量的測量.多重反射光槓桿探測方法微位移理論分辨率小于lnm.搭建瞭微位移測量繫統,實驗結果錶明,測試繫統理論分辨率小于4 nm,實際分辨率優于10 nm.給齣瞭基于該方法的太赫玆探測器設計方案和參數.因其具有良好的抗空氣擾動和光束串擾能力,可以在常溫下工作,適用于非製冷、實時、低成本、微小型化的太赫玆探測器和陣列式成像設備.
제출료일충신형적미광학태혁자복사탐측방법,이쌍재료미현비량결구열탐측방법위기출,통과다중반사광강간계통측량미결구적종향미위이,종이실현태혁자복사량적측량.다중반사광강간탐측방법미위이이론분변솔소우lnm.탑건료미위이측량계통,실험결과표명,측시계통이론분변솔소우4 nm,실제분변솔우우10 nm.급출료기우해방법적태혁자탐측기설계방안화삼수.인기구유량호적항공기우동화광속천우능력,가이재상온하공작,괄용우비제랭、실시、저성본、미소형화적태혁자탐측기화진렬식성상설비.
