仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
10期
105-107,110
,共4页
PVDF薄膜%电路构建%性能测试%扫描探针显微镜
PVDF薄膜%電路構建%性能測試%掃描探針顯微鏡
PVDF박막%전로구건%성능측시%소묘탐침현미경
一种采用PVDF薄膜和压电传感器结合钨探针构成的新型扫描测头可以对柔软易损坏及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量.基于该新型测头构建了硬件电路系统,并通过相关试验测试了系统特性.试验结果证明:该扫描测头在垂直方向上可实现亚纳米级的分辨率.
一種採用PVDF薄膜和壓電傳感器結閤鎢探針構成的新型掃描測頭可以對柔軟易損壞及具有大檯階特徵的錶麵實現高精度非破壞性測量.基于該新型測頭構建瞭硬件電路繫統,併通過相關試驗測試瞭繫統特性.試驗結果證明:該掃描測頭在垂直方嚮上可實現亞納米級的分辨率.
일충채용PVDF박막화압전전감기결합오탐침구성적신형소묘측두가이대유연역손배급구유대태계특정적표면실현고정도비파배성측량.기우해신형측두구건료경건전로계통,병통과상관시험측시료계통특성.시험결과증명:해소묘측두재수직방향상가실현아납미급적분변솔.
