仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
10期
1-3,14
,共4页
胥震%欧阳清%施冠羽%易定和
胥震%歐暘清%施冠羽%易定和
서진%구양청%시관우%역정화
微机电系统%电容传感器%有限元仿真分析%加工工艺
微機電繫統%電容傳感器%有限元倣真分析%加工工藝
미궤전계통%전용전감기%유한원방진분석%가공공예
对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化.通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰.最后,给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺.
對定齒偏置電容式加速度傳感器進行瞭參數設計和優化.通過有限元倣真分析軟件計算齣其特徵頻率與典型振動模態,結果錶明:傳感器具有較大的頻率響應範圍,檢測模態特徵頻率遠小于其他模態,有效減小瞭交扠榦擾.最後,給齣瞭基于MEMS技術的電容式加速度傳感器的加工工藝.
대정치편치전용식가속도전감기진행료삼수설계화우화.통과유한원방진분석연건계산출기특정빈솔여전형진동모태,결과표명:전감기구유교대적빈솔향응범위,검측모태특정빈솔원소우기타모태,유효감소료교차간우.최후,급출료기우MEMS기술적전용식가속도전감기적가공공예.
