强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
11期
2631-2636
,共6页
陈上碧%盛斌%邱克强%刘正坤%徐向东%刘颖%洪义麟%付绍军
陳上碧%盛斌%邱剋彊%劉正坤%徐嚮東%劉穎%洪義麟%付紹軍
진상벽%성빈%구극강%류정곤%서향동%류영%홍의린%부소군
多层介质膜光栅%HPM溶液%激光诱导损伤阈值
多層介質膜光柵%HPM溶液%激光誘導損傷閾值
다층개질막광책%HPM용액%격광유도손상역치
multilayer dieiectric gratings%HPM solution%laser induced damage threshold
采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究.用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化.实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟化合物；再经HPM溶液清洗,反应离子束刻蚀和氧等离子体处理过程产生的金属污染物被进一步去除.经过上述清洗工艺处理后,光栅一级衍射效率仍保持在95％以上,光栅表面激光诱导损伤阈值达到1.6 J/cm2(1053 nm,10 ps).实验结果说明了氧等离子体和HPM溶液相结合能有效清洗多层介质膜脉宽压缩光栅,并显著提高光栅损伤阈值.
採用HPM溶液(鹽痠、雙氧水和去離子水的混閤液)結閤氧等離子體對多層介質膜脈寬壓縮光柵進行清洗研究.用X射線光電子能譜檢測光柵錶麵的元素成分及其原子含量的變化.實驗結果錶明,氧等離子體處理能有效去除光柵錶麵殘留光刻膠和碳氟化閤物；再經HPM溶液清洗,反應離子束刻蝕和氧等離子體處理過程產生的金屬汙染物被進一步去除.經過上述清洗工藝處理後,光柵一級衍射效率仍保持在95％以上,光柵錶麵激光誘導損傷閾值達到1.6 J/cm2(1053 nm,10 ps).實驗結果說明瞭氧等離子體和HPM溶液相結閤能有效清洗多層介質膜脈寬壓縮光柵,併顯著提高光柵損傷閾值.
채용HPM용액(염산、쌍양수화거리자수적혼합액)결합양등리자체대다층개질막맥관압축광책진행청세연구.용X사선광전자능보검측광책표면적원소성분급기원자함량적변화.실험결과표명,양등리자체처리능유효거제광책표면잔류광각효화탄불화합물；재경HPM용액청세,반응리자속각식화양등리자체처리과정산생적금속오염물피진일보거제.경과상술청세공예처리후,광책일급연사효솔잉보지재95％이상,광책표면격광유도손상역치체도1.6 J/cm2(1053 nm,10 ps).실험결과설명료양등리자체화HPM용액상결합능유효청세다층개질막맥관압축광책,병현저제고광책손상역치.
