强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
11期
2613-2617
,共5页
刘仁臣%吴永刚%夏子奂%王振华%唐平林%梁钊铭
劉仁臣%吳永剛%夏子奐%王振華%唐平林%樑釗銘
류인신%오영강%하자환%왕진화%당평림%량쇠명
亚微米光栅%掺铝氧化锌%激光干涉法%湿法刻蚀%溶脱-剥离法
亞微米光柵%摻鋁氧化鋅%激光榦涉法%濕法刻蝕%溶脫-剝離法
아미미광책%참려양화자%격광간섭법%습법각식%용탈-박리법
以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅.表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙度分别为25.4,7.6 nm.在400～900 nm波段,两种方法制备的周期和高度相同的光栅,平均总反射率分别由AZO薄膜的12.5％下降到8.3％和10.2％.两者的平均镜面反射率分别为6.2％和6.6％,平均漫反射率分别为2.1％和3.6％.湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZO光栅的漫反射明显减弱,从而导致总的减反特性优于溶脱-剥离法得到的表面起伏相对较小的AZO光栅.
以激光榦涉法得到的光刻膠圖案為掩模,採用濕法刻蝕和溶脫-剝離法製備瞭具有良好減反射特性的亞微米摻鋁氧化鋅(ZnO:Al,AZO)光柵.錶麵形貌特徵和反射光譜測試結果錶明,濕法刻蝕較溶脫-剝離法得到的AZO光柵錶麵更為粗糙,兩者均方根粗糙度分彆為25.4,7.6 nm.在400～900 nm波段,兩種方法製備的週期和高度相同的光柵,平均總反射率分彆由AZO薄膜的12.5％下降到8.3％和10.2％.兩者的平均鏡麵反射率分彆為6.2％和6.6％,平均漫反射率分彆為2.1％和3.6％.濕法刻蝕得到的錶麵較為粗糙AZO光柵的漫反射明顯減弱,從而導緻總的減反特性優于溶脫-剝離法得到的錶麵起伏相對較小的AZO光柵.
이격광간섭법득도적광각효도안위엄모,채용습법각식화용탈-박리법제비료구유량호감반사특성적아미미참려양화자(ZnO:Al,AZO)광책.표면형모특정화반사광보측시결과표명,습법각식교용탈-박리법득도적AZO광책표면경위조조,량자균방근조조도분별위25.4,7.6 nm.재400～900 nm파단,량충방법제비적주기화고도상동적광책,평균총반사솔분별유AZO박막적12.5％하강도8.3％화10.2％.량자적평균경면반사솔분별위6.2％화6.6％,평균만반사솔분별위2.1％화3.6％.습법각식득도적표면교위조조AZO광책적만반사명현감약,종이도치총적감반특성우우용탈-박리법득도적표면기복상대교소적AZO광책.
