强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
11期
2599-2603
,共5页
常利阳%李晓红%邱荣%王俊波
常利暘%李曉紅%邱榮%王俊波
상리양%리효홍%구영%왕준파
激光辐照%单晶硅%微构造%荧光特性
激光輻照%單晶硅%微構造%熒光特性
격광복조%단정규%미구조%형광특성
采用Nd:YAG纳秒脉冲激光对单晶硅在空气中进行辐照,研究了表面微结构在不同能量密度和扫描速度下的演化情况.扫描电子显微镜测量表明,激光在相对较低能量密度下辐照硅表面诱导出鱼鳞状波纹结构,激光能量密度相对较大时,诱导出絮状多孔的不规则微结构.光致荧光谱(PL)表明,激光扫描区域在710 nm附近有荧光发射.用氢氟酸腐蚀掉样品表面的SiOx后,荧光峰的强度显著降低,说明SiOx在光致发光增强上起重要作用.能量色散X射线谱(EDS)表明氧元素的含量随激光能量密度的增大而增加.研究表明:纳秒激光的能量密度和扫描速度对微结构形成起着决定性作用,改变了硅材料表面微结构尺寸,增大了光吸收面积；氧元素在光致发光增强上起重要作用,微构造硅和SiOx对光致荧光的发射都有贡献.
採用Nd:YAG納秒脈遲激光對單晶硅在空氣中進行輻照,研究瞭錶麵微結構在不同能量密度和掃描速度下的縯化情況.掃描電子顯微鏡測量錶明,激光在相對較低能量密度下輻照硅錶麵誘導齣魚鱗狀波紋結構,激光能量密度相對較大時,誘導齣絮狀多孔的不規則微結構.光緻熒光譜(PL)錶明,激光掃描區域在710 nm附近有熒光髮射.用氫氟痠腐蝕掉樣品錶麵的SiOx後,熒光峰的彊度顯著降低,說明SiOx在光緻髮光增彊上起重要作用.能量色散X射線譜(EDS)錶明氧元素的含量隨激光能量密度的增大而增加.研究錶明:納秒激光的能量密度和掃描速度對微結構形成起著決定性作用,改變瞭硅材料錶麵微結構呎吋,增大瞭光吸收麵積；氧元素在光緻髮光增彊上起重要作用,微構造硅和SiOx對光緻熒光的髮射都有貢獻.
채용Nd:YAG납초맥충격광대단정규재공기중진행복조,연구료표면미결구재불동능량밀도화소묘속도하적연화정황.소묘전자현미경측량표명,격광재상대교저능량밀도하복조규표면유도출어린상파문결구,격광능량밀도상대교대시,유도출서상다공적불규칙미결구.광치형광보(PL)표명,격광소묘구역재710 nm부근유형광발사.용경불산부식도양품표면적SiOx후,형광봉적강도현저강저,설명SiOx재광치발광증강상기중요작용.능량색산X사선보(EDS)표명양원소적함량수격광능량밀도적증대이증가.연구표명:납초격광적능량밀도화소묘속도대미결구형성기착결정성작용,개변료규재료표면미결구척촌,증대료광흡수면적；양원소재광치발광증강상기중요작용,미구조규화SiOx대광치형광적발사도유공헌.
