传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
9期
52-54,61
,共4页
朱鹏飞%马炳和%姜澄宇%邓进军%王云龙
硃鵬飛%馬炳和%薑澄宇%鄧進軍%王雲龍
주붕비%마병화%강징우%산진군%왕운룡
驱动电流%热敏微传感器%剪应力%水下
驅動電流%熱敏微傳感器%剪應力%水下
구동전류%열민미전감기%전응력%수하
drive current%thermal micro sensor%shear stress%underwater
驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数.增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大.研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度.从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律.通过静水中的I-V特性测试实验,确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流.通过电压-剪应力特性测试实验,验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系,得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度.研究,发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8 mV/Pa.
驅動電流是熱敏式剪應力微傳感器的一箇重要參數.增大驅動電流可以提高傳感器的靈敏度,但傳感器的安全工作溫度又限製瞭驅動電流的增大.研究瞭如何基于驅動電流來最大程度地提高傳感器靈敏度.從理論上分析瞭傳感器靈敏度隨剪應力輸入的變化規律.通過靜水中的I-V特性測試實驗,確定瞭傳感器在水下工作的最大允許驅動電流.通過電壓-剪應力特性測試實驗,驗證瞭傳感器靈敏度與驅動電流的關繫,得到瞭傳感器在最大允許驅動電流激勵下的靈敏度.研究,髮現最大允許驅動電流可以使傳感器在剪應力為0.2Pa時的靈敏度達到23.8 mV/Pa.
구동전류시열민식전응력미전감기적일개중요삼수.증대구동전류가이제고전감기적령민도,단전감기적안전공작온도우한제료구동전류적증대.연구료여하기우구동전류래최대정도지제고전감기령민도.종이론상분석료전감기령민도수전응력수입적변화규률.통과정수중적I-V특성측시실험,학정료전감기재수하공작적최대윤허구동전류.통과전압-전응력특성측시실험,험증료전감기령민도여구동전류적관계,득도료전감기재최대윤허구동전류격려하적령민도.연구,발현최대윤허구동전류가이사전감기재전응력위0.2Pa시적령민도체도23.8 mV/Pa.
