传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
9期
35-37,41
,共4页
氧化锌/玻璃%声表面波%COMSOL仿真%紫外探测
氧化鋅/玻璃%聲錶麵波%COMSOL倣真%紫外探測
양화자/파리%성표면파%COMSOL방진%자외탐측
ZnO/Glass%SAW%COMSOL simulation%UV detection
基于氧化锌/玻璃(ZnO/Glass)结构的声表面波(SAW)器件可以用来制作性能优良的紫外探测器.使用有限元分析软件COMSOL Multiphysics仿真了该种结构的声表面波器件,并得到其S11参数.基于仿真结果,制备了相应的SAW器件,实验所用ZnO薄膜采用直流反应磁控溅射方法沉积,所制备的ZnO薄膜呈(0002)取向.基于该种结构的SAW紫外探测器对紫外光的反应时间仅3 s,其紫外探测的灵敏度高达36.4×10-6/mW/cm2.
基于氧化鋅/玻璃(ZnO/Glass)結構的聲錶麵波(SAW)器件可以用來製作性能優良的紫外探測器.使用有限元分析軟件COMSOL Multiphysics倣真瞭該種結構的聲錶麵波器件,併得到其S11參數.基于倣真結果,製備瞭相應的SAW器件,實驗所用ZnO薄膜採用直流反應磁控濺射方法沉積,所製備的ZnO薄膜呈(0002)取嚮.基于該種結構的SAW紫外探測器對紫外光的反應時間僅3 s,其紫外探測的靈敏度高達36.4×10-6/mW/cm2.
기우양화자/파리(ZnO/Glass)결구적성표면파(SAW)기건가이용래제작성능우량적자외탐측기.사용유한원분석연건COMSOL Multiphysics방진료해충결구적성표면파기건,병득도기S11삼수.기우방진결과,제비료상응적SAW기건,실험소용ZnO박막채용직류반응자공천사방법침적,소제비적ZnO박막정(0002)취향.기우해충결구적SAW자외탐측기대자외광적반응시간부3 s,기자외탐측적령민도고체36.4×10-6/mW/cm2.
