传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
9期
88-90,93
,共4页
宋萌%常洪龙%杜松杰%谢建兵%李鹏程
宋萌%常洪龍%杜鬆傑%謝建兵%李鵬程
송맹%상홍룡%두송걸%사건병%리붕정
微电子机械系统%加速度计%低噪声%高灵敏度%绝缘体上硅
微電子機械繫統%加速度計%低譟聲%高靈敏度%絕緣體上硅
미전자궤계계통%가속도계%저조성%고령민도%절연체상규
MEMS%accelerometer%low-noise%high-sensitivity%SOI
为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(S0I)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案.该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速度计的机械布朗噪声,增强了信噪比.另外,该微加速度计采用一种基于Al保护层的MEMS SOI工艺技术制造,有利于提高微加速度计的整体精度水平.测试结果表明:微加速度计的本底噪声为20μgn/√Hz,灵敏度为2.5 V/gn.
為瞭提高微加速度計的譟聲性能,研究瞭一種基于絕緣體上硅(S0I)技術的單軸MEMS加速度計的設計和加工方案.該微加速度計採用大麵積質量塊的電容式檢測結構,通過增加檢測質量,在保證靈敏度的前提下,有效地降低瞭微加速度計的機械佈朗譟聲,增彊瞭信譟比.另外,該微加速度計採用一種基于Al保護層的MEMS SOI工藝技術製造,有利于提高微加速度計的整體精度水平.測試結果錶明:微加速度計的本底譟聲為20μgn/√Hz,靈敏度為2.5 V/gn.
위료제고미가속도계적조성성능,연구료일충기우절연체상규(S0I)기술적단축MEMS가속도계적설계화가공방안.해미가속도계채용대면적질량괴적전용식검측결구,통과증가검측질량,재보증령민도적전제하,유효지강저료미가속도계적궤계포랑조성,증강료신조비.령외,해미가속도계채용일충기우Al보호층적MEMS SOI공예기술제조,유리우제고미가속도계적정체정도수평.측시결과표명:미가속도계적본저조성위20μgn/√Hz,령민도위2.5 V/gn.
