传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
9期
77-80
,共4页
MEMS高gn值加速度传感器%延伸梁%ANSYS%仿真
MEMS高gn值加速度傳感器%延伸樑%ANSYS%倣真
MEMS고gn치가속도전감기%연신량%ANSYS%방진
MEMS high-gn acceleration sensor%extending beam%ANSYS%simulation
高gn值加速度传感器在侵彻武器等领域受到广泛应用,对量程、灵敏度、固有频率等指标也提出了更高的要求.设计了一种MEMS高gn值加速度传感器,在传统梁-岛结构加速度传感器的基础上进行了改进,采用主微梁互补结构在提高固有频率、量程的同时,提高了灵敏度.在梁的末端提出了新式的延伸梁结构设计,大大减小了集中应力的现象,提高了结构的抗过载能力.利用ANSYS有限元分析软件,对该加速度传感器进行了静态、模态和瞬态分析.经仿真验证,该MEMS高gn值加速度传感器的各项指标均满足要求,具有明显的优越性.
高gn值加速度傳感器在侵徹武器等領域受到廣汎應用,對量程、靈敏度、固有頻率等指標也提齣瞭更高的要求.設計瞭一種MEMS高gn值加速度傳感器,在傳統樑-島結構加速度傳感器的基礎上進行瞭改進,採用主微樑互補結構在提高固有頻率、量程的同時,提高瞭靈敏度.在樑的末耑提齣瞭新式的延伸樑結構設計,大大減小瞭集中應力的現象,提高瞭結構的抗過載能力.利用ANSYS有限元分析軟件,對該加速度傳感器進行瞭靜態、模態和瞬態分析.經倣真驗證,該MEMS高gn值加速度傳感器的各項指標均滿足要求,具有明顯的優越性.
고gn치가속도전감기재침철무기등영역수도엄범응용,대량정、령민도、고유빈솔등지표야제출료경고적요구.설계료일충MEMS고gn치가속도전감기,재전통량-도결구가속도전감기적기출상진행료개진,채용주미량호보결구재제고고유빈솔、량정적동시,제고료령민도.재량적말단제출료신식적연신량결구설계,대대감소료집중응력적현상,제고료결구적항과재능력.이용ANSYS유한원분석연건,대해가속도전감기진행료정태、모태화순태분석.경방진험증,해MEMS고gn치가속도전감기적각항지표균만족요구,구유명현적우월성.
