传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
9期
68-70,73
,共4页
于洪峰%王伟%王世宁%史鑫%曹永海%桂永雷
于洪峰%王偉%王世寧%史鑫%曹永海%桂永雷
우홍봉%왕위%왕세저%사흠%조영해%계영뢰
微机电系统%光学检测%声传感器%灵敏度
微機電繫統%光學檢測%聲傳感器%靈敏度
미궤전계통%광학검측%성전감기%령민도
MEMS%optical detection%acoustics sensor%sensitivity
设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片.对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品.经实验测试,灵敏度达80 mV/Pa.
設計瞭一種基于硅MEMS敏感結構的光學式聲傳感器,其光學調製原理採用彊度調製型,微敏感結構採用具有低應力波紋結構的感聲薄膜芯片.對光纖與微敏感結構耦閤技術進行實驗研究,優化光學參數,併製作傳感器樣品.經實驗測試,靈敏度達80 mV/Pa.
설계료일충기우규MEMS민감결구적광학식성전감기,기광학조제원리채용강도조제형,미민감결구채용구유저응력파문결구적감성박막심편.대광섬여미민감결구우합기술진행실험연구,우화광학삼수,병제작전감기양품.경실험측시,령민도체80 mV/Pa.
