压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
5期
742-745
,共4页
张巧真%张继华%杨传仁%陈宏伟%赵强
張巧真%張繼華%楊傳仁%陳宏偉%趙彊
장교진%장계화%양전인%진굉위%조강
BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)薄膜%射频磁控溅射%退火温度%薄膜结构%介电性能
BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)薄膜%射頻磁控濺射%退火溫度%薄膜結構%介電性能
BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)박막%사빈자공천사%퇴화온도%박막결구%개전성능
采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/LaAlO3(100)衬底上制备了BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2系(BNST)薄膜.研究了退火温度对BNST薄膜结构、表面形貌和介电性能的影响.X线衍射仪(XRD)分析表明,随着退火温度的升高,晶粒逐渐长大.经850℃退火处理的BNST薄膜具有很好的结晶质量.原子力显微镜(AFM)分析表明,在一定范围内提高退火温度所制备的薄膜晶粒致密、大小均匀.LCR测试分析表明,在测试频率为100 kHz时,随着退火温度的升高,BNST薄膜介电常数有所增加,介电损耗则先降低,后增加.实验表明,经850℃退火处理,所制备的BNST薄膜的介电常数达37,介电损耗小于1.2‰.
採用射頻磁控濺射法在Pt/Ti/LaAlO3(100)襯底上製備瞭BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2繫(BNST)薄膜.研究瞭退火溫度對BNST薄膜結構、錶麵形貌和介電性能的影響.X線衍射儀(XRD)分析錶明,隨著退火溫度的升高,晶粒逐漸長大.經850℃退火處理的BNST薄膜具有很好的結晶質量.原子力顯微鏡(AFM)分析錶明,在一定範圍內提高退火溫度所製備的薄膜晶粒緻密、大小均勻.LCR測試分析錶明,在測試頻率為100 kHz時,隨著退火溫度的升高,BNST薄膜介電常數有所增加,介電損耗則先降低,後增加.實驗錶明,經850℃退火處理,所製備的BNST薄膜的介電常數達37,介電損耗小于1.2‰.
채용사빈자공천사법재Pt/Ti/LaAlO3(100)츤저상제비료BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2계(BNST)박막.연구료퇴화온도대BNST박막결구、표면형모화개전성능적영향.X선연사의(XRD)분석표명,수착퇴화온도적승고,정립축점장대.경850℃퇴화처리적BNST박막구유흔호적결정질량.원자력현미경(AFM)분석표명,재일정범위내제고퇴화온도소제비적박막정립치밀、대소균균.LCR측시분석표명,재측시빈솔위100 kHz시,수착퇴화온도적승고,BNST박막개전상수유소증가,개전손모칙선강저,후증가.실험표명,경850℃퇴화처리,소제비적BNST박막적개전상수체37,개전손모소우1.2‰.
