压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
5期
728-731
,共4页
宛克敬%何常德%廉德钦%薛晨阳
宛剋敬%何常德%廉德欽%薛晨暘
완극경%하상덕%렴덕흠%설신양
压阻%超声传感器%微传感梁结构%Ansys%优化
壓阻%超聲傳感器%微傳感樑結構%Ansys%優化
압조%초성전감기%미전감량결구%Ansys%우화
提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动.通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高.为了实现结构的优化,仿真了结构的尺寸与共振频率的关系,对相同共振频率的结构进行了静力分析,计算并对比了不同尺寸结构的灵敏度,从而得到灵敏度最高的结构,实现了结构的优化.
提齣瞭一種新的壓阻式超聲傳感器結構,該結構由主振樑和微傳感樑組成,在聲壓的作用下,主振樑振動從而帶動微傳感樑的振動.通過有限元軟件Ansys倣真分析該結構的靈敏度,併與懸臂樑結構壓阻式聲傳感器相比,結果錶明靈敏度有瞭一定的提高.為瞭實現結構的優化,倣真瞭結構的呎吋與共振頻率的關繫,對相同共振頻率的結構進行瞭靜力分析,計算併對比瞭不同呎吋結構的靈敏度,從而得到靈敏度最高的結構,實現瞭結構的優化.
제출료일충신적압조식초성전감기결구,해결구유주진량화미전감량조성,재성압적작용하,주진량진동종이대동미전감량적진동.통과유한원연건Ansys방진분석해결구적령민도,병여현비량결구압조식성전감기상비,결과표명령민도유료일정적제고.위료실현결구적우화,방진료결구적척촌여공진빈솔적관계,대상동공진빈솔적결구진행료정력분석,계산병대비료불동척촌결구적령민도,종이득도령민도최고적결구,실현료결구적우화.
