传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
9期
75-78,82
,共5页
宋冬雪%薛晨阳%王玮冰%何鑫%孟如男
宋鼕雪%薛晨暘%王瑋冰%何鑫%孟如男
송동설%설신양%왕위빙%하흠%맹여남
热敏MEMS器件%前置放大器%CMOS
熱敏MEMS器件%前置放大器%CMOS
열민MEMS기건%전치방대기%CMOS
针对不同应用的热敏MEMS器件的界面电路设计高性能放大器,提出建立与CMOS工艺兼容的热敏MEMS器件前置放大器的IP库的概念.通过提取相关热敏器件的典型参数,设计低功耗、低噪声且分别符合精度和速度等特殊要求的前置放大器,对3种不同结构的放大器进行分析研究,并利用Cadence 软件,基于CSMC 0.5 μm标准CMOS工艺库进行设计仿真.仿真结果表明:3种不同结构的放大器可以用于相应性能要求的热敏MEMS器件中.
針對不同應用的熱敏MEMS器件的界麵電路設計高性能放大器,提齣建立與CMOS工藝兼容的熱敏MEMS器件前置放大器的IP庫的概唸.通過提取相關熱敏器件的典型參數,設計低功耗、低譟聲且分彆符閤精度和速度等特殊要求的前置放大器,對3種不同結構的放大器進行分析研究,併利用Cadence 軟件,基于CSMC 0.5 μm標準CMOS工藝庫進行設計倣真.倣真結果錶明:3種不同結構的放大器可以用于相應性能要求的熱敏MEMS器件中.
침대불동응용적열민MEMS기건적계면전로설계고성능방대기,제출건립여CMOS공예겸용적열민MEMS기건전치방대기적IP고적개념.통과제취상관열민기건적전형삼수,설계저공모、저조성차분별부합정도화속도등특수요구적전치방대기,대3충불동결구적방대기진행분석연구,병이용Cadence 연건,기우CSMC 0.5 μm표준CMOS공예고진행설계방진.방진결과표명:3충불동결구적방대기가이용우상응성능요구적열민MEMS기건중.
