传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
9期
1-4,13
,共5页
向继文%陈依民%徐成志%胡友旺
嚮繼文%陳依民%徐成誌%鬍友旺
향계문%진의민%서성지%호우왕
声表面波%NO2传感器%敏感膜
聲錶麵波%NO2傳感器%敏感膜
성표면파%NO2전감기%민감막
由于工业检测、环境监测、医学监测等领域的需求,高性能NO2传感器得到了广泛的研究.声表面波传感器技术的发展为研发高灵敏度、高稳定性、响应快速、小型化的NO2传感器提供了极大的潜能.总结了近30年来声表面波NO2传感器敏感膜的研究现状,并根据现有的研究和传感器的应用需求,深入探讨了声表面波NO2传感器敏感膜面临的挑战和发展趋势.
由于工業檢測、環境鑑測、醫學鑑測等領域的需求,高性能NO2傳感器得到瞭廣汎的研究.聲錶麵波傳感器技術的髮展為研髮高靈敏度、高穩定性、響應快速、小型化的NO2傳感器提供瞭極大的潛能.總結瞭近30年來聲錶麵波NO2傳感器敏感膜的研究現狀,併根據現有的研究和傳感器的應用需求,深入探討瞭聲錶麵波NO2傳感器敏感膜麵臨的挑戰和髮展趨勢.
유우공업검측、배경감측、의학감측등영역적수구,고성능NO2전감기득도료엄범적연구.성표면파전감기기술적발전위연발고령민도、고은정성、향응쾌속、소형화적NO2전감기제공료겁대적잠능.총결료근30년래성표면파NO2전감기민감막적연구현상,병근거현유적연구화전감기적응용수구,심입탐토료성표면파NO2전감기민감막면림적도전화발전추세.
