CAJ | 학술논문

该文采用斐索干涉仪实时测量了波长532 nm，重复频率10 kHz高功率固体激光辐照下镀高反膜反射镜表面热变形，研究了电子束蒸发技术制备的反射镜的热变形情况,使用光学软件模拟研究了反射镜热变形对光束质量的影响。结果表明反射镜热变形与激光功率呈线性关系；不同批次或同一批次的反射镜热变形量具有较大的差异；在激光功率150 W时，最大热变形量达到1.7μm，Strehl比降到0.209。
해문채용비색간섭의실시측량료파장532 nm，중복빈솔10 kHz고공솔고체격광복조하도고반막반사경표면열변형，연구료전자속증발기술제비적반사경적열변형정황,사용광학연건모의연구료반사경열변형대광속질량적영향。결과표명반사경열변형여격광공솔정선성관계；불동비차혹동일비차적반사경열변형량구유교대적차이；재격광공솔150 W시，최대열변형량체도1.7μm，Strehl비강도0.209。