铝加工
鋁加工
려가공
ALUMINIUM FABRICATION
2012年
4期
4-8
,共5页
静电键合%玻璃%铝%公共阳极
靜電鍵閤%玻璃%鋁%公共暘極
정전건합%파리%려%공공양겁
研究了铝与玻璃的阳极连接方法,采用公共阳极法和直流电源实现了玻璃/铝/玻璃的多层连接,这为多层晶片的连接以及复杂微电子装置的没计提供方法和理论基础.通过SEM、EDS和GD-OES分析手段分析了玻璃/铝的结合界面.采用instron-5544万能材料试验机进行拉伸实验发现断裂发生在玻璃基体中,这表明界面的结合强度高于玻璃基体的强度,SEM断口形貌分析表明断裂界面呈贝壳状的解理断面,说明运用公共阳极可以实现多层晶片的良好键合.实验表明在温度为350℃ ～ 450℃,电压在为400～ 800V时,玻璃-铝-玻璃的键合质量较高.
研究瞭鋁與玻璃的暘極連接方法,採用公共暘極法和直流電源實現瞭玻璃/鋁/玻璃的多層連接,這為多層晶片的連接以及複雜微電子裝置的沒計提供方法和理論基礎.通過SEM、EDS和GD-OES分析手段分析瞭玻璃/鋁的結閤界麵.採用instron-5544萬能材料試驗機進行拉伸實驗髮現斷裂髮生在玻璃基體中,這錶明界麵的結閤彊度高于玻璃基體的彊度,SEM斷口形貌分析錶明斷裂界麵呈貝殼狀的解理斷麵,說明運用公共暘極可以實現多層晶片的良好鍵閤.實驗錶明在溫度為350℃ ～ 450℃,電壓在為400～ 800V時,玻璃-鋁-玻璃的鍵閤質量較高.
연구료려여파리적양겁련접방법,채용공공양겁법화직류전원실현료파리/려/파리적다층련접,저위다층정편적련접이급복잡미전자장치적몰계제공방법화이론기출.통과SEM、EDS화GD-OES분석수단분석료파리/려적결합계면.채용instron-5544만능재료시험궤진행랍신실험발현단렬발생재파리기체중,저표명계면적결합강도고우파리기체적강도,SEM단구형모분석표명단렬계면정패각상적해리단면,설명운용공공양겁가이실현다층정편적량호건합.실험표명재온도위350℃ ～ 450℃,전압재위400～ 800V시,파리-려-파리적건합질량교고.
