物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2012年
10期
13-16
,共4页
高金海%张武勤%李桢%张兵临
高金海%張武勤%李楨%張兵臨
고금해%장무근%리정%장병림
微波等离子体%化学气相沉积%类球状微米金刚石聚晶薄膜%场致电子发射
微波等離子體%化學氣相沉積%類毬狀微米金剛石聚晶薄膜%場緻電子髮射
미파등리자체%화학기상침적%류구상미미금강석취정박막%장치전자발사
在覆盖金属钛层的陶瓷上,通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜,并通过激光刻蚀金刚石聚晶薄膜的表面.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射分析了刻蚀前后的结构和表面形貌,测试了刻蚀前后薄膜的场致电子发射特性,发现激光的刻蚀对金刚石聚晶薄膜场致电子发射的稳定性有一定的提高,并对其制备过程及发射机理进行了研究.
在覆蓋金屬鈦層的陶瓷上,通過微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)法製備齣類毬狀微米金剛石聚晶薄膜,併通過激光刻蝕金剛石聚晶薄膜的錶麵.利用掃描電子顯微鏡、拉曼光譜,X射線衍射分析瞭刻蝕前後的結構和錶麵形貌,測試瞭刻蝕前後薄膜的場緻電子髮射特性,髮現激光的刻蝕對金剛石聚晶薄膜場緻電子髮射的穩定性有一定的提高,併對其製備過程及髮射機理進行瞭研究.
재복개금속태층적도자상,통과미파등리자체화학기상침적(MPCVD)법제비출류구상미미금강석취정박막,병통과격광각식금강석취정박막적표면.이용소묘전자현미경、랍만광보,X사선연사분석료각식전후적결구화표면형모,측시료각식전후박막적장치전자발사특성,발현격광적각식대금강석취정박막장치전자발사적은정성유일정적제고,병대기제비과정급발사궤리진행료연구.
