发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2013年
9期
1199-1202
,共4页
武红磊%郑瑞生%李萌萌%闫征%郑伟
武紅磊%鄭瑞生%李萌萌%閆徵%鄭偉
무홍뢰%정서생%리맹맹%염정%정위
光致发光%掺杂%p型导电%半导体材料%AlN
光緻髮光%摻雜%p型導電%半導體材料%AlN
광치발광%참잡%p형도전%반도체재료%AlN
PL%doping%p-type conduction%semiconductor materials%AlN
在SiC衬底上生长了碳硅共掺杂p型AlN晶体,通过X射线衍射、X射线光电子能谱(XPS)、光致发光(PL)光谱、霍尔测试对碳硅共掺杂p型AlN晶体的结构、光学及电学性能进行了综合研究.通过XPS测试分析(尤其是对样品中Si 2p和Cls的XPS谱分析)发现,样品中C替代N成为受主,而Si替代Al成为施主.样品的PL谱主要包括两个特征发射峰,分别来自于C、Si在AlN中形成的复合物VN-CN和CN-SiAl.
在SiC襯底上生長瞭碳硅共摻雜p型AlN晶體,通過X射線衍射、X射線光電子能譜(XPS)、光緻髮光(PL)光譜、霍爾測試對碳硅共摻雜p型AlN晶體的結構、光學及電學性能進行瞭綜閤研究.通過XPS測試分析(尤其是對樣品中Si 2p和Cls的XPS譜分析)髮現,樣品中C替代N成為受主,而Si替代Al成為施主.樣品的PL譜主要包括兩箇特徵髮射峰,分彆來自于C、Si在AlN中形成的複閤物VN-CN和CN-SiAl.
재SiC츤저상생장료탄규공참잡p형AlN정체,통과X사선연사、X사선광전자능보(XPS)、광치발광(PL)광보、곽이측시대탄규공참잡p형AlN정체적결구、광학급전학성능진행료종합연구.통과XPS측시분석(우기시대양품중Si 2p화Cls적XPS보분석)발현,양품중C체대N성위수주,이Si체대Al성위시주.양품적PL보주요포괄량개특정발사봉,분별래자우C、Si재AlN중형성적복합물VN-CN화CN-SiAl.
