发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2013年
9期
1167-1172
,共6页
李彤%介琼%张宇%倪晓昌%赵新为
李彤%介瓊%張宇%倪曉昌%趙新為
리동%개경%장우%예효창%조신위
ZnO%Mn%拉曼%稀磁半导体
ZnO%Mn%拉曼%稀磁半導體
ZnO%Mn%랍만%희자반도체
ZnO%Mn%Raman%diluted magnetic semiconductors
利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上室温沉积了一系列不同Mn掺杂的ZnO∶ Mn薄膜.结合Raman光谱,XRD谱和SEM分析了ZnO∶ Mn薄膜的结构特性.Raman拟合结果显示,在Mn摩尔分数从0增加到5.6％的过程中,ZnO∶ Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构；随着Mn掺杂浓度的增大,437 cm-和527 cm-位置上的Raman散射峰出现红移现象,说明Mn掺杂量的增加导致晶格更加无序,缺陷增多；当Mn摩尔分数达到15.8％时,647 cm-处的Raman散射峰出现,暗示了MnO的产生,同时薄膜结晶质量变差.这一结论也得到了XRD和SEM结果的支持.
利用射頻磁控濺射方法在玻璃襯底上室溫沉積瞭一繫列不同Mn摻雜的ZnO∶ Mn薄膜.結閤Raman光譜,XRD譜和SEM分析瞭ZnO∶ Mn薄膜的結構特性.Raman擬閤結果顯示,在Mn摩爾分數從0增加到5.6％的過程中,ZnO∶ Mn薄膜始終保持著六角纖鋅礦結構；隨著Mn摻雜濃度的增大,437 cm-和527 cm-位置上的Raman散射峰齣現紅移現象,說明Mn摻雜量的增加導緻晶格更加無序,缺陷增多；噹Mn摩爾分數達到15.8％時,647 cm-處的Raman散射峰齣現,暗示瞭MnO的產生,同時薄膜結晶質量變差.這一結論也得到瞭XRD和SEM結果的支持.
이용사빈자공천사방법재파리츤저상실온침적료일계렬불동Mn참잡적ZnO∶ Mn박막.결합Raman광보,XRD보화SEM분석료ZnO∶ Mn박막적결구특성.Raman의합결과현시,재Mn마이분수종0증가도5.6％적과정중,ZnO∶ Mn박막시종보지착륙각섬자광결구；수착Mn참잡농도적증대,437 cm-화527 cm-위치상적Raman산사봉출현홍이현상,설명Mn참잡량적증가도치정격경가무서,결함증다；당Mn마이분수체도15.8％시,647 cm-처적Raman산사봉출현,암시료MnO적산생,동시박막결정질량변차.저일결론야득도료XRD화SEM결과적지지.
