电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
9期
14-16,65
,共4页
硅%钢线断线%多线切割%钢线破断力
硅%鋼線斷線%多線切割%鋼線破斷力
규%강선단선%다선절할%강선파단력
Silicon%Steelw ire breakage%M ulti-w ire cutting%Steelw ire breaking stress
在多线切割工艺中，镀铜金属线对硅单晶切割片的质量有着重要影响，成为多线切割工艺需要控制的重要辅料。断线问题一直是困扰多线切割工艺人员的主要问题之一，一直得不到有效的解决，从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析，并给出相应的解决措施。
在多線切割工藝中，鍍銅金屬線對硅單晶切割片的質量有著重要影響，成為多線切割工藝需要控製的重要輔料。斷線問題一直是睏擾多線切割工藝人員的主要問題之一，一直得不到有效的解決，從材料、設備、工藝以及人員等多箇視角對斷線問題進行瞭分析，併給齣相應的解決措施。
재다선절할공예중，도동금속선대규단정절할편적질량유착중요영향，성위다선절할공예수요공제적중요보료。단선문제일직시곤우다선절할공예인원적주요문제지일，일직득불도유효적해결，종재료、설비、공예이급인원등다개시각대단선문제진행료분석，병급출상응적해결조시。
C opper coated steel w ire,as an im portant auxiliary m aterial,has im portant effects on quality ofthe single crystalsilicon cutting w afer.W ire breakage problem is a difficultproblem thathas disturbed the technologists for a long tim e and itis stillunsolved today.This article analyses the w ire breakage problem from various angles including m aterials,equipm ent,technology and operation staff. The corresponding solving m easures are also presented finally.
