光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2013年
5期
2246-2250
,共5页
杨奕凡%李亚莉%宋化雨%郝会颖%邢杰%董敬敬
楊奕凡%李亞莉%宋化雨%郝會穎%邢傑%董敬敬
양혁범%리아리%송화우%학회영%형걸%동경경
金属诱导晶化%非晶硅%多晶硅薄膜
金屬誘導晶化%非晶硅%多晶硅薄膜
금속유도정화%비정규%다정규박막
多晶硅薄膜由于兼具稳定性、高光敏性、便于大面积沉积等优势成为目前光伏领域的研究热点.本文综述了近几年金属诱导非晶硅薄膜晶化的新工艺,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构、金属含量的调控规律.最后展望了未来的发展趋势.
多晶硅薄膜由于兼具穩定性、高光敏性、便于大麵積沉積等優勢成為目前光伏領域的研究熱點.本文綜述瞭近幾年金屬誘導非晶硅薄膜晶化的新工藝,介紹瞭各種工藝條件對多晶硅薄膜材料的結構、金屬含量的調控規律.最後展望瞭未來的髮展趨勢.
다정규박막유우겸구은정성、고광민성、편우대면적침적등우세성위목전광복영역적연구열점.본문종술료근궤년금속유도비정규박막정화적신공예,개소료각충공예조건대다정규박막재료적결구、금속함량적조공규률.최후전망료미래적발전추세.
