热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2013年
16期
123-125
,共3页
潘津%张晨曙%罗亮%晏建武
潘津%張晨曙%囉亮%晏建武
반진%장신서%라량%안건무
Fe-Ga合金%磁致伸缩%磁控溅射%Fe-Ga薄膜%热处理%硬度
Fe-Ga閤金%磁緻伸縮%磁控濺射%Fe-Ga薄膜%熱處理%硬度
Fe-Ga합금%자치신축%자공천사%Fe-Ga박막%열처리%경도
Fe-Ga alloy%magnetostrictive%magnetron sputtering%Fe-Ga films%heat treatment%hardness
研究了磁控溅射工艺中溅射功率对制备Fe-Ga薄膜的影响,对薄膜进行了热处理以及硬度测试.结果发现,在50～100W,薄膜厚度随溅射功率的增大而增加,并且在100W时所得的薄膜厚度和致密性最佳.热处理后发现薄膜变得更致密、更均匀.在一定功率范围内,薄膜的硬度也随溅射功率的增加而增加.
研究瞭磁控濺射工藝中濺射功率對製備Fe-Ga薄膜的影響,對薄膜進行瞭熱處理以及硬度測試.結果髮現,在50～100W,薄膜厚度隨濺射功率的增大而增加,併且在100W時所得的薄膜厚度和緻密性最佳.熱處理後髮現薄膜變得更緻密、更均勻.在一定功率範圍內,薄膜的硬度也隨濺射功率的增加而增加.
연구료자공천사공예중천사공솔대제비Fe-Ga박막적영향,대박막진행료열처리이급경도측시.결과발현,재50～100W,박막후도수천사공솔적증대이증가,병차재100W시소득적박막후도화치밀성최가.열처리후발현박막변득경치밀、경균균.재일정공솔범위내,박막적경도야수천사공솔적증가이증가.
