CAJ | 학술논문

为了研究氢气载气对化学气相沉积微环境的影响,自行设计了化学气相沉积炉并在900℃,丙烯/载气体积比为1∶10(载气分别设定为氢气和氮气),微正压条件下在石墨纸基体上进行化学气相沉积.利用气相色谱仪、气-质联用仪分析了沉积区域的沉积基元中间产物,利用扫描电镜、拉曼光谱分析了热解炭的微观结构.结果表明,与氮气载气相比,氢气载气抑制了热解炭的沉积,降低了热解炭的织构,这主要是由于氢气改变了沉积区域中小分子烃/大分子芳香烃比造成的.
위료연구경기재기대화학기상침적미배경적영향,자행설계료화학기상침적로병재900℃,병희/재기체적비위1∶10(재기분별설정위경기화담기),미정압조건하재석묵지기체상진행화학기상침적.이용기상색보의、기-질련용의분석료침적구역적침적기원중간산물,이용소묘전경、랍만광보분석료열해탄적미관결구.결과표명,여담기재기상비,경기재기억제료열해탄적침적,강저료열해탄적직구,저주요시유우경기개변료침적구역중소분자경/대분자방향경비조성적.