强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
2期
115-120
,共6页
张东旭%毕果%郭隐彪%王健%王詹帅%潘日
張東旭%畢果%郭隱彪%王健%王詹帥%潘日
장동욱%필과%곽은표%왕건%왕첨수%반일
精密检测平台%检测环境监测%支持向量回归机%定位误差%自适应补偿
精密檢測平檯%檢測環境鑑測%支持嚮量迴歸機%定位誤差%自適應補償
정밀검측평태%검측배경감측%지지향량회귀궤%정위오차%자괄응보상
precision measurement platform%monitoring measurement environment%support vector regression%positioning error%adaptive compensation
为了实现光学元件精密检测平台定位误差的自适应补偿,以保证在不同的检测环境中平台能够自行保持高精度,提出了基于检测环境监测和支持向量回归机的定位误差自适应补偿方法.首先,以多组检测环境中温度、湿度和气压的具体测量值作为训练数据,利用支持向量回归机建立定位误差最大值的预测模型,进行最大值预测.然后,将最大值同温度、湿度、气压等环境因素和位置信息一起作为训练数据,迭代使用支持向量回归机,建立任意位置定位误差预测模型.最后,将预测到的定位误差值传入检测平台控制器中进行补偿.应用雷尼绍激光干涉仪,温度、湿度和气压传感器等仪器设备,在光学元件精密检测平台上进行了具体实验.实验结果表明该技术切实可行,预测数据与实测数据差值绝对值的平均值为0.88μm,Pearson相关系数的平方为0.99,自适应补偿后平均定位误差由43μm降为1.4 μm.
為瞭實現光學元件精密檢測平檯定位誤差的自適應補償,以保證在不同的檢測環境中平檯能夠自行保持高精度,提齣瞭基于檢測環境鑑測和支持嚮量迴歸機的定位誤差自適應補償方法.首先,以多組檢測環境中溫度、濕度和氣壓的具體測量值作為訓練數據,利用支持嚮量迴歸機建立定位誤差最大值的預測模型,進行最大值預測.然後,將最大值同溫度、濕度、氣壓等環境因素和位置信息一起作為訓練數據,迭代使用支持嚮量迴歸機,建立任意位置定位誤差預測模型.最後,將預測到的定位誤差值傳入檢測平檯控製器中進行補償.應用雷尼紹激光榦涉儀,溫度、濕度和氣壓傳感器等儀器設備,在光學元件精密檢測平檯上進行瞭具體實驗.實驗結果錶明該技術切實可行,預測數據與實測數據差值絕對值的平均值為0.88μm,Pearson相關繫數的平方為0.99,自適應補償後平均定位誤差由43μm降為1.4 μm.
위료실현광학원건정밀검측평태정위오차적자괄응보상,이보증재불동적검측배경중평태능구자행보지고정도,제출료기우검측배경감측화지지향량회귀궤적정위오차자괄응보상방법.수선,이다조검측배경중온도、습도화기압적구체측량치작위훈련수거,이용지지향량회귀궤건립정위오차최대치적예측모형,진행최대치예측.연후,장최대치동온도、습도、기압등배경인소화위치신식일기작위훈련수거,질대사용지지향량회귀궤,건립임의위치정위오차예측모형.최후,장예측도적정위오차치전입검측평태공제기중진행보상.응용뢰니소격광간섭의,온도、습도화기압전감기등의기설비,재광학원건정밀검측평태상진행료구체실험.실험결과표명해기술절실가행,예측수거여실측수거차치절대치적평균치위0.88μm,Pearson상관계수적평방위0.99,자괄응보상후평균정위오차유43μm강위1.4 μm.
